[实用新型]一种钨表面阻氧膜有效
| 申请号： | 202020687098.3 | 申请日： | 2020-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN212404264U | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 唐军利 | 申请（专利权）人： | 金堆城钼业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 弓长 |
| 地址： | 710077 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面 阻氧膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种钨表面阻氧膜，其特征在于，包括钨基体(1)，所述钨基体(1)表面镀有复合膜层，所述复合膜层依次为铝层(2)、第一氮化铬铝层(3)、铬层(4)、第二氮化铬铝层(5)，所述复合膜层的底层为铝层(2)，所述复合膜层的顶层为第二氮化铬铝层(5)。
2.根据权利要求1所述的一种钨表面阻氧膜，其特征在于，所述复合膜层的厚度为1～3μm。
3.根据权利要求1所述的一种钨表面阻氧膜，其特征在于，所述铬层(4)厚度为50～100nm。
4.根据权利要求1所述的一种钨表面阻氧膜，其特征在于，所述铝层(2)厚度为50～100nm。
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