[实用新型]一种微电子工业洁净厂房

权利要求书

1.一种微电子工业洁净厂房，包括控制中心（1）、环境监测装置（2）、加热加湿装置（3）、空气净化装置（4）和生产线，其特征在于：所述控制中心（1）分别与环境监测装置（2）、加热加湿装置（3）和空气净化装置（4）电性连接；

所述环境监测装置（2）与控制中心（1）双向电性连接，所述环境监测装置（2）包括监测控制处理器（21）、温度传感器（22）、湿度传感器（23）、颗粒物传感器（24）和警报装置（25），所述监测控制处理器（21）的输入端分别与温度传感器（22）、湿度传感器（23）颗粒物传感器（24）的输出端电性连接，所述警报装置（25）的输入端与控制中心（1）的输出端电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种微电子工业洁净厂房，其特征在于：所述加热加湿装置（3）包括加热装置（31）和加湿装置（32），所述加热装置（31）和加湿装置（32）的输入端分别与控制中心（1）的输出端电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种微电子工业洁净厂房，其特征在于：所述监测控制处理器（21）包括HC32F003 32位单片机、通讯芯片、扩展内存、I/O端口和电源接口。

4.根据权利要求2所述的一种微电子工业洁净厂房，其特征在于：所述加热装置（31）为电加热器，所述加热装置（31）的数量根据厂房的面积由工程师确定。

5.根据权利要求2所述的一种微电子工业洁净厂房，其特征在于：所述加湿装置（32）为电加湿器，所述加湿装置（32）的数量根据厂房的面积由工程师确定。

6.根据权利要求1所述的一种微电子工业洁净厂房，其特征在于：所述空气净化装置（4）为工业用新风装置，可以从市场直接购买。

7.根据权利要求1所述的一种微电子工业洁净厂房，其特征在于：所述温度传感器（22）、湿度传感器（23）、颗粒物传感器（24）和警报装置（25）的数量根据厂房的实际情况由工程师确定。