[实用新型]狭缝节流气浮转台

说明书

本实用新型涉及一种狭缝节流气浮转台，包括转轴、工作台、驱动部件及气浮轴承，转轴包括转轴主体、上法兰与下法兰，工作台设在上法兰上，驱动部件设在下法兰上，气浮轴承包括下止推凸台、径向节流套以及径向端环、气室外套，气室外套与径向节流套之间形成气室；在下止推凸台上设下定位台阶，在下定位台阶上设下止推圆环；在工作台与上法兰之间设上止推凸台，在上止推凸台上设上定位台阶，在上定位台阶上设上止推圆环，在上止推圆环与下止推圆环之间设定距环；在径向节流套上形成狭缝，在上定位台阶处形成狭缝，在下定位台阶处形成狭缝，气体从狭缝进入转轴的外表面并形成气膜。防止气锤振动及微观跳动现象发生，工作更加稳定，具有更好的精度。

技术领域

本实用新型涉及精密加工技术领域，尤其是涉及一种高精度的狭缝节流气浮转台。

背景技术

气浮转台属于高精度的回转定位装置，由转轴、节流器、伺服电机、圆光栅等组成，气浮转台伺服电机驱动，并通过转轴及节流器进行非接触支撑，并通过圆光栅进行精密回转定位；气浮转台广泛的应用于超精密加工及测量领域，其回转精度和周向定位精度的高低对加工和测量性能具有决定性的影响。现有气浮转台以小孔节流方式居多，而小孔节流由于存在气腔，气腔的存在容易发生气锤振动和微观跳动现象，影响工作稳定性和精度；同时目前气浮转台的结构使得在不方便进行装配，降低安装效率。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种不会出现气锤振动和微观跳动现象且方便安装的狭缝节流气浮转台。

本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是：一种狭缝节流气浮转台，包括转轴、设置于转轴端面上的工作台、驱动转轴转动的驱动部件以及设置于转轴上并支撑转轴转动的气浮轴承，所述的转轴包括转轴主体、位于转轴主体上的上法兰与下法兰，所述的工作台设置在上法兰上，所述的驱动部件设置在下法兰上，所述的气浮轴承包括从上至下套设在转轴主体上的下止推凸台、径向节流套以及径向端环，在所述的径向节流套与径向端环外侧套设气室外套，所述的气室外套的内壁与径向端环之间形成密封，所述的气室外套与径向节流套之间形成气室；在所述的下止推凸台的上端面外侧设置下定位台阶，在所述的下定位台阶上设置下止推圆环；在所述的工作台与上法兰之间设置上止推凸台，在所述的上止推凸台的下端面外侧设置上定位台阶，在所述的上定位台阶上设置上止推圆环，在所述的上止推圆环与下止推圆环之间设置定距环；在所述的上止推凸台、上止推圆环、定距环、下止推圆环、下止推凸台以及气室外套上设置气体通道，在所述的气室外套上设置进气孔与气体通道连通；在所述的径向节流套的上端面与下端面上形成狭缝，在所述的上止推圆环的内环面与上止推凸台的上定位台阶处形成狭缝，在所述的下止推圆环的内环面与下止推凸台的下定位台阶处形成狭缝，气体从狭缝进入转轴的外表面并在转轴的外表面形成气膜。

进一步具体的，所述的气室外套的内壁上部为倾斜面，所述的气室设置在倾斜面与径向节流套之间，所述的进气孔穿透气室外套并连通气室。

进一步具体的，所述的径向节流套包括节流套本体、从节流套本体两端面伸出的若干固定凸台、从节流套本体两端面伸出的节流凸台，所述的节流凸台呈环状，所述的节流凸台位于固定凸台内侧，在所述的节流凸台与固定凸台之间为气流通道，相邻所述的固定凸台之间为通气槽，所述的通气槽将气室与气流通道连通，所述的节流凸台的高度小于固定凸台的高度。

进一步具体的，所述的下止推凸台的上端面设置第一通气环槽，所述的下止推凸台的下端面均设置第二通气环槽，所述的第一通气环槽与第二通气环槽均与下止推凸台内部的气体通道连通，所花的第二通气环槽连接气室，所述的第一通气环槽与下定位台阶处的狭缝连通。

进一步具体的，在所述的第一通气环槽及第二通气环槽的外侧均开设第二密封环槽，并在所述的第二密封环槽内设置密封圈。

进一步具体的，所述的上止推凸台的下端面设置第三通气环槽，所述的第三通气环槽与上止推凸台内部的气体通道连通，所述的第三通气环槽与上定位台阶处的狭缝连通。