[实用新型]一种全自动硅料真空烘干机

说明书

本实用新型公开了一种全自动硅料真空烘干机，该真空烘干机包括用于水浴浸泡硅料以提高硅料温度的硅料水浴箱、多个用于烘干水浴浸泡后的硅料的真空烘干装置和用于实现硅料在硅料水浴箱和真空烘干装置之间转移的机械臂输送装置。该真空烘干机将待烘干的硅料经水浴浸泡提高温度后置于真空条件下，利用真空条件下水沸点降低的原理，使带有余温的硅料表面残留的水分快速蒸发并经由真空泵组抽出，实现快速烘干的目的。

技术领域

本实用新型涉及硅料烘干技术领域，特别是涉及一种全自动硅料真空烘干机。

背景技术

随着半导体和太阳能行业的不断发展壮大，硅料的需求量越来越大。硅料的纯度对最终产品的质量至关重要，有些硅料表面附带有很多杂质，对之必须用酸洗的方法将表面杂质去除，然后再进行清洗，清洗过的硅料在投炉前须经过烘干处理，以去除附着在硅料上的水分。常规的方法是将硅料用周转箱分装好后，以叠加方式装入普通烘箱中，加热器设置在烘箱的下方，通电加热进行烘干处理，采用常规的烘箱进行烘干，位于底层的硅料能够很快被烘干，而位于中上层的硅料则不易烘干，同时烘箱内的水汽不易排出，烘干速度慢、效率低，能耗高，且烘箱内的硅料受热不均匀，很难适应对大量硅料的烘干处理。

针对上述问题，特提出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种全自动硅料真空烘干机，该真空烘干机将待烘干的硅料经水浴浸泡提高温度后置于真空条件下，利用真空条件下水沸点降低的原理，使带有余温的硅料表面残留的水分快速蒸发并经由真空泵组抽出，实现快速烘干的目的。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种全自动硅料真空烘干机，包括用于水浴浸泡硅料以提高硅料温度的硅料水浴箱、多个用于烘干水浴浸泡后的硅料的真空烘干装置和用于实现硅料在硅料水浴箱和真空烘干装置之间转移的机械臂输送装置，所述真空烘干装置包括设有箱门的真空烘干箱和与所述真空烘干箱连通的真空泵，所述真空烘干箱上设置有用于平衡真空烘干箱压力的平压阀，所述机械臂输送装置设置于所述真空烘干箱和硅料水浴箱的上方，所述机械臂输送装置包括用于抓取硅料的取料组件、用于带动取料组件升降的升降组件和用于带动升降组件水平滑动的水平滑动组件，所述升降组件为链轮链条驱动，所述水平滑动组件为齿轮齿条驱动。

优选的，所述水平滑动组件包括滑轨、滑动连接于所述滑轨上的滑座、固定连接于所述滑座上的第一电机、与所述第一电机的输出端连接的齿轮和与所述齿轮啮合的且对应滑轨设置的齿条，所述升降组件固定连接于所述滑座上。

优选的，所述升降组件包括竖直设置于滑座上的导轨、滑动连接于导轨上的升降座及用于驱动升降座升降的第二电机，所述第二电机通过链轮链条与升降座动力连接，所述取料组件设置于升降座上。

优选的，所述齿条的两侧均设置有滑轨，所述滑座包括左滑座、右滑座和设置于所述左滑座和右滑座之间的用于连接左滑座和右滑座的连接座，所述第一电机固定连接于所述连接座上，所述左滑座和右滑座分别与齿条两侧的滑轨滑动连接，所述导轨设置为两组，两组导轨分别竖直设置于所述左滑座和右滑座上，所述升降座分别对应两组导轨设置为两个，对应每一升降座分别设置链轮链条与第二电机动力连接，所述取料组件设置于两个升降座之间。

优选的，所述链轮链条包括上链轮、下链轮及连接上下链轮的链条，所述第二电机固定连接于所述滑座上，所述第二电机的输出轴上连接有旋转轴，所述上链轮设置于所述旋转轴上，所述左滑座和右滑座上分别对应导轨竖向设置有固定座，对应每一升降座设置的下链轮分别对应设置于所述固定座上，所述升降座与相应链条连接，所述第二电机通过旋转轴带动对应两升降座的链轮链条运转。

优选的，还包括多个用于盛放待烘干硅料的料篮，所述取料组件包括固定连接于两升降座之间的连接板，所述连接板上连接有用于与所述料篮配合以抓取料蓝的卡勾。