[实用新型]一种用于气体污染测量以及监测的气体运输设备

说明书

本实用新型涉及一种用于气体污染测量以及监测的气体运输设备，包括：壳体；与壳体一端相通的气体输送部；气体输送部上与壳体相通的一侧设有前排出口；气体输送部与壳体相通处设有过滤部；设置在所述壳体内的输送管路；输送管路与过滤部相通；输送管路上设有加热部；输送管路上还设有后部排出口，后部排出口与测量分析系统相连；排气管路，与壳体内的输送管路相通；在排气管路上还设有清洁气体供应部，本实用新型将气体在测量点被强力抽吸之后将其送至测量分析系统，同时采用无风扇间接吹气进行气体的输送，避免了风扇的污染物混入测量气体中可能产生错误的数据，并且气体通过具有加热部的过滤器进行过滤，保持测量气体的恒定温度，确保测量精度。

技术领域

本实用新型涉及一种气体运输设备，尤其涉及一种用于气体污染测量以及监测的气体运输设备。

背景技术

半导体制造过程中的空气污染导致半导体的制造不良，特别是来自各种制造过程的气体泄漏或从制造设备流出的金属，有机物，NOx，SOx，酸和碱气体会影响其他工艺；但是，污染物的泄漏无法特定是某个地方，因此采样会在距离测量设备很远的地方进行。

目前，请参阅附图1，为了测量气态的污染物，将抽吸泵（103）设置在测量装置（100）的内部，并通过多重采样（101）装置和选择阀（111）将其提供给各个分析器（102），污染物测量设备还可以依次分析很多点；但是在实际的使用中发现存在如下缺点：①由于外部问题（例如相对湿度，温度和用于测量的气体中的细小灰尘），每次都很难进行相同的测量；②另外，必须同时通过设备内部的抽吸泵吸入，但是抽吸量不是恒定的，同时污染物测量装置的进料管（112）的末端为1/4英寸（直径6.35mm）和3/8英寸（9.53mm），并且只有管子的形式，因此很难在大空间中吸入气体后再对空气的质量进行测量。

实用新型内容

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种保证不会由于外界环境的变化影响测量效果，同时气体能够在更宽的空间中被吸入，提升测量精度的用于气体污染测量以及监测的气体运输设备。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于气体污染测量以及监测的气体运输设备，包括：

壳体；

与所述壳体一端相通的气体输送部，用于将气体吸入壳体内；

在所述气体输送部上与壳体相通的一侧设有前排出口，用于将气体中的杂质排出；

在所述气体输送部与壳体相通处设有过滤部，用于将气体输送部传送的气体进行过滤；

设置在所述壳体内的输送管路；所述输送管路与过滤部相通；所述输送管路上设有加热部，用于将输出管路加热；

所述输送管路上还设有后部排出口，所述后部排出口与测量分析系统相连；

排气管路，与壳体内的输送管路相通；

在所述排气管路上还设有清洁气体供应部，用于排出残留在排气管路中的吸附物。

进一步的，所述气体输送部包括第一筒体；所述第一筒体的内壁中开有用于气体流动的流道；所述第一筒体上设有与流道相通的气体供应口；所述气体供应口的下方设有用于提供动力的风扇；所述流道上设有送风口。

进一步的，所述前排出口的数量为两个，且两个所述前排出口倾斜设置在气体输送部与壳体之间。

进一步的，所述后部排出口的数量为两个，两个所述后部排出口倾斜的与输送管路相连。

进一步的，所述后部排出口上设有流量控制阀。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：