[实用新型]单晶硅棒转运车有效

专利信息
申请号: 202020704212.9 申请日: 2020-04-30
公开(公告)号: CN212500558U 公开(公告)日: 2021-02-09
发明(设计)人: 张国峰;刘瑞强;穆光裕 申请(专利权)人: 辽宁中电科半导体材料有限公司
主分类号: B62B3/04 分类号: B62B3/04;B62B3/10;B62B3/02
代理公司: 锦州辽西专利事务所(普通合伙) 21225 代理人: 李辉
地址: 121000 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 单晶硅 转运
【说明书】:

单晶硅棒转运车,包括车体,在车体上设有开口朝前的U型口,在车体底部对应U型口后部安装托盘,托盘上设有上宽下窄的锥形孔,在车体底部位于托盘前方铰接前后转动的托架,托架与车体之间连接升降油缸,在车体顶部对应U型口后部安装左右对称布置的平移油缸,二个平移油缸指向U型口,且在二个平移油缸相对端分别安装卡箍,在车体上安装与升降油缸和平移油缸通过管路连接的油泵。在转运单晶硅棒过程中,其可提高单晶硅棒固定结构稳定性,避免单晶硅棒滚落车外,避免单晶硅棒与转运车磕碰,保证单晶硅棒产品质量。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅棒生产设备,尤其涉及一种单晶硅棒转运车。

背景技术

单晶硅棒是通过拉晶炉加工单晶硅粉料而成,用于制作半导体、芯片等的中间产物,其为圆柱状且一端为圆锥状结构。在拉晶炉加工出单晶硅棒后,需要将单晶硅棒转运至单晶硅棒放置架,以备后续生产。目前,用于转运单晶硅棒的转运车为平板车,平板车转运单晶硅棒存在以下问题:单晶硅棒固定结构不稳定,单晶硅棒易滚落车外,且单晶硅棒滚动过程中与平板车磕碰,造成单晶硅棒受损,严重影响产品质量。

发明内容

本实用新型是为了解决上述技术问题,提供一种单晶硅棒转运车,在转运单晶硅棒过程中,其可提高单晶硅棒固定结构稳定性,避免单晶硅棒滚落车外,避免单晶硅棒与转运车磕碰,保证单晶硅棒产品质量。

本实用新型的技术解决方案是:

单晶硅棒转运车,包括车体,其特殊之处在于:在车体上设有开口朝前的U型口,在车体底部对应U型口后部安装托盘,托盘上设有上宽下窄的锥形孔,在车体底部位于托盘前方铰接前后转动的托架,托架与车体之间连接升降油缸,在车体顶部对应U型口后部安装左右对称布置的平移油缸,二个平移油缸指向U型口,且在二个平移油缸相对端分别安装卡箍,在车体上安装与升降油缸和平移油缸通过管路连接的油泵。

进一步优选,所述托架截面为弧形,卸车过程中,提高单晶硅棒稳定性。

进一步优选,在所述托架的内弧面粘贴第一橡胶垫,避免划伤单晶硅棒。

进一步优选,在所述托架左右两侧之间连接捆扎带,提高单晶硅棒固定结构稳定性。

进一步优选,所述卡箍为弧形,且二个卡箍对口布置。

进一步优选,在所述卡箍的内端面安装第二橡胶垫,避免划伤单晶硅棒。

进一步优选,在车体后端安装把手。

本实用新型的有益效果是:

1、由于安装在车体底部的托盘,设于托盘上上宽下窄的锥形孔,左右对称布置安装在车体顶部的平移油缸,安装在二个平移油缸相对端的卡箍,固定单晶硅棒操作时,将单晶硅棒底部圆锥面座置于锥形孔,启动平移油缸,二个卡箍将单晶硅棒上部夹持固定,提高了单晶硅棒固定结构稳定性,避免单晶硅棒滚落车外,避免单晶硅棒与转运车磕碰,保证了单晶硅棒产品质量。

2、由于设在车体上开口朝前的U型口,铰接在车体底部位于托盘前方前后转动的托架,连接在托架与车体之间升降油缸,单晶硅棒卸车时,首先将单晶硅棒固定于托架,启动平移油缸张开二个卡箍,然后启动升降油缸将单晶硅棒放平,将单晶硅棒移至单晶硅棒放置架。单晶硅棒卸车操作方便,省时省力,避免人工搬运卸车造成单晶硅棒磕碰现象发生,保证了单晶硅棒的产品质量。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图;

图2是图1的俯视图;

图中:1-车体,2-把手,3-U型口,4-托盘,5-锥形孔,6-托架,7-第一橡胶垫,8-捆扎带,9-升降油缸,10-平移油缸,11-卡箍,12-第二橡胶垫,13-油泵。

具体实施方式

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