[实用新型]一种晶粒拾取手臂水平校正装置

说明书

本实用新型提供一种晶粒拾取手臂水平校正装置。所述晶粒拾取手臂水平校正装置，包括：拾取手臂本体和胡椒罐；校正组件，所述校正组件设置于所述拾取手臂本体的底部。通过设置校正组件，作为专门校正拾取手臂的工具，在校正的时候通过与不锈钢板以及感压纸片配合使用，构成一套完整的校正结构，通过观察凹槽在感压纸片压合出印痕的平均程度来判断角度差的实际参数，从而对晶粒拾取手臂进行准确的调节，一次调节到位，不需要多次盲目的调节，大大提高了调节效率，使得调节操作更加方便，通过设置该校正装置很好的解决了因晶粒拾取手臂缺乏专门实用的的工具进行直观的校正，导致不能有效的解决吸嘴与晶圆之间存在角度差的问题。

技术领域

本实用新型涉及晶粒领域，尤其涉及一种晶粒拾取手臂水平校正装置。

背景技术

晶粒是组成多晶体的外形不规则的小晶体，而每个晶粒有时又有若干个位向稍有差异的亚晶粒所组成，晶粒的平均直径通常在0.015～0.25mm范围内，而亚晶粒的平均直径通常为0.001mm数量级，晶体内部晶格位向(即原子排列方向)完全一致的晶体称为单晶体，实际使用的金属材料，即使体积很小，其内部仍含有许多小晶体，由于这些晶格位相基本相同的小晶体外形不规则，呈颗粒状，故称“晶粒”，由许多晶格排列方位不相同的晶粒组成的晶体称为多晶体。

晶粒拾取手臂是属于内引脚接合机组成部件，专门用于拾取生产加工用的晶粒颗粒，现有技术中，拾取手臂主要是通过吸嘴来拾取晶粒，然而晶粒拾取手臂在使用一段时间之后，其上的吸嘴与晶圆之间产生一定的角度差，导致吸嘴在晶粒拾取时会变得不稳定，很容易造成晶粒拾不起来，或是直接掉落等异常问题，由于缺乏专门实用的的工具进行直观的校正，人们通常都是盲目的多次进行调整，并不能有效的解决吸嘴与晶圆之间存在角度差的问题。

因此，有必要提供一种晶粒拾取手臂水平校正装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种晶粒拾取手臂水平校正装置，解决了晶粒拾取手臂缺乏专门实用的的工具进行直观的校正，不能有效的解决吸嘴与晶圆之间存在角度差的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的晶粒拾取手臂水平校正装置，包括：

拾取手臂本体和胡椒罐；

校正组件，所述校正组件设置于所述拾取手臂本体的底部，所述校正组件包括矩形块，所述矩形块的顶部固定连接有连接件，所述连接件的顶部固定连接有固定杆，所述矩形块的底部开设有凹槽，所述连接件的一侧开设有定位槽；

不锈钢板，所述不锈钢板设置于所述胡椒罐的顶部，所述不锈钢板的顶部设置有感压纸片，所述拾取手臂本体的底部开设有安装槽。

优选的，所述矩形块位于所述感压纸片的正下方，所述固定杆和所述连接件均与所述安装槽的内部卡接。

优选的，所述矩形块的长度、宽度以及高度分别均设置为3cm，所述凹槽的深度设置为0.5cm。

优选的，所述矩形块、所述连接件与所述固定杆均为不锈钢材质。

优选的，当使用完校正组件时，还包括用于放置校正组件的放置装置，所述放置装置包括放置盒，所述放置盒的顶部设置有密封盖，所述放置盒的内部设置有放置层，所述放置层的顶部开设有固定槽，所述放置盒的左右两侧均设置有保护层，所述保护层的内部开设有圆孔。

优选的，所述放置盒顶部的左右两侧均开设有卡槽，所述密封盖底部的左右两侧均固定连接有卡轴。

与相关技术相比较，本实用新型提供的晶粒拾取手臂水平校正装置具有如下有益效果：