[实用新型]一种基于铌酸锂的空气隙型剪切波谐振器

权利要求书

1.一种基于铌酸锂的空气隙型剪切波谐振器，其特征在于，包括硅衬底、氧化硅保护层、硅腔、铌酸锂压电材料及顶部电极；所述硅衬底的上表面向内凹陷形成凹槽，所述氧化硅保护层沉积在凹槽的侧壁和底面；所述硅衬底与铌酸锂压电材料连接，所述铌酸锂压电材料覆盖在凹槽的上方，形成硅腔；所述铌酸锂压电材料上设有通孔，使硅腔与外界相通；所述铌酸锂压电材料上表面与顶部电极连接。

2.根据权利要求1所述的基于铌酸锂的空气隙型剪切波谐振器，其特征在于，所述顶部电极为Pt、Mo、Ag、Al、Au中的一种；所述顶部电极厚度为60 nm-700 nm。

3.根据权利要求1所述的基于铌酸锂的空气隙型剪切波谐振器，其特征在于，所述氧化硅保护层的厚度为1μm-3μm。

4.根据权利要求1所述的基于铌酸锂的空气隙型剪切波谐振器，其特征在于，所述铌酸锂压电材料为Z切向或者Y切向。

5.根据权利要求1所述的基于铌酸锂的空气隙型剪切波谐振器，其特征在于，所述铌酸锂压电材料的厚度为100 nm-5μm。

6.根据权利要求1所述的基于铌酸锂的空气隙型剪切波谐振器，其特征在于，所述顶部电极为叉指电极，且正负电极交替排列；相邻叉指电极的间距为500 nm-5μm，所述顶部电极的宽度为500 nm-3μm，顶部电极的长度为48 μm-300μm。

7.根据权利要求1所述的基于铌酸锂的空气隙型剪切波谐振器，其特征在于，所述硅腔的深度为2μm-30μm。

8.根据权利要求1所述的基于铌酸锂的空气隙型剪切波谐振器，其特征在于，相邻的顶部电极的间距大于铌酸锂压电材料的厚度。