[实用新型]一种碳化硅晶体打磨装置有效
申请号: | 202020721200.7 | 申请日: | 2020-05-06 |
公开(公告)号: | CN211966998U | 公开(公告)日: | 2020-11-20 |
发明(设计)人: | 么靓;刘亚坤;张平;邹宇 | 申请(专利权)人: | 江苏天科合达半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司 |
主分类号: | B24B19/22 | 分类号: | B24B19/22;B24B41/06;B24B27/00;B24B47/22 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张博 |
地址: | 221000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 晶体 打磨 装置 | ||
本实用新型公开了一种碳化硅晶体打磨装置,包括底座、支撑杆、水平杆、固定杆、打磨轮和夹持装置,打磨轮转动的设置在底座上,支撑杆固定在底座上,水平杆移动的设置在支撑杆上,固定杆设置在水平杆上,夹持装置设置在固定杆上,夹持装置上夹持住的碳化硅晶体朝向打磨轮,水平杆在支撑杆上移动时带动碳化硅晶体朝向或远离打磨轮移动。使用时,夹持装置夹持住碳化硅晶体,水平杆在支撑杆上移动时带动碳化硅晶体朝向打磨轮移动,准确将碳化硅晶体调节到打磨位置,提高打磨精度和良率。通过采用水平杆和支撑杆的配合,形成机械臂操作,替代人工操作,提高工作效率和生产良率,提高安全性,并且可实现多块晶体同时打磨,降低生产能耗,提高工作效率。
技术领域
本实用新型涉及晶体打磨技术领域,尤其涉及一种碳化硅晶体打磨装置。
背景技术
现有碳化硅晶体生长后,人工持拿晶体在打磨台上进行打磨,每人每次只能持拿一块晶体,生产效率低,人工成本高;且人工持拿晶体在高速旋转的打磨轮上作业,操作不当容易弄伤手部。
因此,如何提供一种碳化硅晶体打磨装置,以提高工作效率、提高打磨精度且提高安全性,是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型的目的在于提供一种碳化硅晶体打磨装置,以提高工作效率、提高打磨精度且提高安全性。
为了达到上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种碳化硅晶体打磨装置,包括底座、支撑杆、水平杆、固定杆、打磨轮和夹持装置,其中,
所述打磨轮转动的设置在所述底座上,
所述支撑杆固定在所述底座上,所述水平杆移动的设置在所述支撑杆上,所述固定杆设置在所述水平杆上,所述夹持装置设置在所述固定杆上,
所述夹持装置上夹持住的碳化硅晶体朝向所述打磨轮,
所述水平杆在所述支撑杆上移动时带动所述碳化硅晶体朝向或远离所述打磨轮移动。
优选的,上述底座上开设有凹槽,所述打磨轮设置在所述凹槽中。
优选的,上述打磨轮通过旋转轴与所述底座连接。
优选的,上述夹持装置包括安装杆、弹性伸缩杆和夹板,其中,
所述安装杆的一端与所述固定杆连接,其另一端与所述弹性伸缩杆的中部连接,所述弹性伸缩杆的两端各设置有所述夹板,
所述弹性伸缩杆给予夹持力通过所述夹板夹持所述碳化硅晶体。
优选的,上述弹性伸缩杆包括依次连接的第一杆体、第一弹性装置、第二杆体、第二弹性装置和第三杆体,
所述安装杆的另一端与所述第二杆体连接。
优选的,上述第一弹性装置和所述第二弹性装置的结构相同,
所述第一弹性装置包括弹簧和套设在所述弹簧上的套管,所述套管的两端分别沿所述第一杆体和所述第二杆体滑移。
优选的,上述弹性伸缩杆为多个且绕同一圆心呈夹角设置。
优选的,上述安装杆与所述固定杆插接后通过位于侧面的螺丝固定。
优选的,上述支撑杆为竖直杆。
优选的,上述固定杆和所述夹持装置均为多个且沿所述水平杆的长度方向间隔设置。
本实用新型提供的碳化硅晶体打磨装置,包括底座、支撑杆、水平杆、固定杆、打磨轮和夹持装置,
其中,
所述打磨轮转动的设置在所述底座上,
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