[实用新型]一种排废系统有效
申请号: | 202020734247.7 | 申请日: | 2020-05-07 |
公开(公告)号: | CN212161762U | 公开(公告)日: | 2020-12-15 |
发明(设计)人: | 王贵梅;王盼;朱少杰 | 申请(专利权)人: | 晶澳太阳能有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人: | 顾友 |
地址: | 055550 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 系统 | ||
1.一种排废系统,其特征在于,所述排废系统至少包括第一排废管道、第二排废管道及主排废管道,所述第一排废管道与第二排废管道并联设置;
所述第一排废管道包括第一进水口及第一出水口,所述第一进水口与酸槽连通,所述第一出水口与所述主排废管道连通,所述第一排废管道至少包括一水封管;
所述第二排废管道包括第二进水口及第二出水口,所述第二进水口与刻蚀槽连通,所述第二出水口与所述主排废管道连通。
2.根据权利要求1所述的排废系统,其特征在于,所述第一排废管道还包括直管与第一直角弯管,所述直管与第一直角弯管分别连接于所述水封管两端,所述直管包括第一进水口,所述第一直角弯管包括第一出水口,所述第一直角弯管向下折弯。
3.根据权利要求1或2所述的排废系统,其特征在于,所述水封管为U型管、V型管或S型管中的任意一种。
4.根据权利要求3所述的排废系统,其特征在于,所述第二排废管道包括第二直角弯管,所述第二直角弯管向下折弯。
5.根据权利要求4所述的排废系统,其特征在于,所述排废系统还包括分别设于所述第一排废管道及第二排废管道上的第一阀门及第二阀门,且所述第一阀门及第二阀门常态打开。
6.根据权利要求1、2、4或5所述的排废系统,其特征在于,所述主排废管道离所述第一排废管道较近的一端闭合,另一端与废液处理系统连通。
7.根据权利要求6所述的排废系统,其特征在于,所述主排废管道倾斜设置,且所述闭合的一端为最高端。
8.根据权利要求6所述的排废系统,其特征在于,所述第一排废管道或第二排废管道的最高点与所述主排废管道之间的垂直距离为50~80cm。
9.根据权利要求6所述的排废系统,其特征在于,所述第一排废管道、第二排废管道及主排废管道采用PPH或PVDF制成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造