[实用新型]一种转板阀装置

说明书

本实用新型涉及一种转板阀装置。转板阀装置包括上压板和密封板，密封板安装于上压板上，密封板的两个最大外表面中，一面朝向于上压板的最大平面，另一面为密封面并用于密封相邻真空室之间的法兰口；上压板可绕设在法兰口一侧的转轴旋转并且密封板跟随上压板旋转；上压板上设有若干调整顶丝，调整顶丝垂直于上压板最大平面，调整顶丝拧入、贯穿上压板并抵顶于密封板，调整顶丝通过改变密封面局部与上压板之间的距离以调节密封面与法兰口之间的贴合度。本实用新型通过将单层结构转板阀改成双层结构并采用了调整顶丝，使得密封板局部与上压板之间距离可调节，密封面与法兰口的贴合度可以调整到最佳，能够提高密封性能。

技术领域

本实用新型涉及一种转板阀装置，尤其涉及连续真空磁控溅射镀膜生产线中各个真空室之间的转板阀装置。

背景技术

目前在真空磁控溅射镀膜工艺中，主要有单箱体真空磁控溅射镀膜机和连续真空磁控溅射镀膜生产线。而在连续真空磁控溅射镀膜生产线中：进口室、进口过渡室、进口主室调节段，出口室、出口过渡室、出口主室调节段大部分使用转板阀装置来进行隔离。在连续真空磁控溅射镀膜装置中，大部分使用转板阀装置来进行进、出口隔离，而现有的转板阀都是使用的单板结构，长度比较长(2000mm以上)，因温度、疲劳、外力等作用下，容易造成门阀板变形而同时又无法进行调整，易造成密封性能差、漏气等情况，有待改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于为克服现有技术的缺陷，而提供一种转板阀装置，将其设置成双层结构，使其中用于密封的板能够相对另一块板进行调整，以提高密封性能。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种转板阀装置，其包括上压板和密封板，密封板安装于上压板上，密封板的两个最大外表面中，一面朝向于上压板的最大平面，另一面为密封面并用于密封相邻真空室之间的法兰口；上压板可绕设在法兰口一侧的转轴旋转并且密封板跟随上压板旋转；上压板上设有若干调整顶丝，调整顶丝垂直于上压板最大平面，调整顶丝拧入、贯穿上压板并抵顶于密封板，调整顶丝通过改变密封面局部与上压板之间的距离以调节密封面与法兰口之间的贴合度。

转板阀装置还包括用于驱动上压板和密封板旋转的动力机构，动力机构包括气缸、齿轮及齿条，气缸的输出轴与齿条共线并且两者同步移动，齿轮与齿条啮合，转轴与齿轮共轴同步转动。

动力机构还包括磁流体传动密封件和联轴器，齿轮与磁流体传动密封件、联轴器共轴并同步转动，齿轮通过磁流体传动密封件、联轴器驱动转轴转动。动力机构还包括支撑轮，支撑轮与齿轮将齿条夹在中间。

转轴上连接有不少于3个连板，连板与转轴同步转动，连板固定连接上压板，转轴通过连板带动上压板同步旋转。

调整顶丝一端抵顶于密封板，另一端拧入一螺母，螺母用于将调整顶丝位置固定。每三个调整顶丝作为一组、沿上压板宽度方向等距排成直线；在每组调整顶丝中，中间的调整顶丝处于上压板宽度方向的中间位置，相邻调整顶丝的中轴之间距离不小于上压板宽度的0.4倍；每组调整顶丝之间相互平行并且沿上压板长度方向直线均匀排列。调整顶丝具有不少于3组，每组调整顶丝之间相互平行并且沿上压板长度方向直线均匀排列。

转板阀装置还包括用于连接上压板与密封板的连接组件，连接组件至少有两组，连接组件包括球头顶杆、固定座和压簧，球头顶杆头部与密封板连接，球头顶杆带有外螺纹，球头顶杆贯穿上压板、压簧和固定座，压簧设在固定座内，固定座通过螺栓固定连接上压板，固定座对压簧施加压力，球头顶杆穿出固定座之外的部分拧入一个螺母。

连接组件还包括盖板和两根连杆，两根连杆置入于密封板内，盖板与连杆固定连接，球头顶杆垂直贯穿盖板，球头顶杆通过盖板和连杆与密封板实现连接。

密封板表面上设有阶梯凹槽，盖板置于阶梯凹槽的浅槽部之内，球头顶杆的头部置于阶梯凹槽中间的深槽部之内。

盖板与连杆通过螺钉实现连接，螺钉贯穿阶梯凹槽的浅槽部底面。