[实用新型]一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置

说明书

本发明涉及一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置，包括一级循环水洗部、二级循环水洗部、三级循环水洗部、循环碱洗部以及尾气风机；所述一级循环水洗部、二级循环水洗部、循环碱洗部以及尾气风机依次逐级连通，其特征在于：所述一级循环部的输入端设置有用于缓冲待处理的SIF4气体压力波动的缓冲单元；所述缓冲单元包括尾气缓冲罐；所述尾气缓冲罐包括内部设置有缓冲腔的罐体、设置在缓冲腔内的螺旋缓冲管以及蝶阀；所述尾气缓冲罐上设置有进气管和出气管；所述螺旋缓冲管横向设置缓冲腔内；且螺旋缓冲管的两端分别与进气管和出气管连通；所述蝶阀安装在出气管的输出口内。本发明实用性强，易于推广。

技术领域

本发明涉及SiF4尾气处理技术领域，尤其是涉及一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置。

背景技术

四氟化硅，是指一种无色、有毒有刺激性的气味，其主要用于水泥和人造大理石的硬化剂有机物的合成材料。

在制备四氟化硅的过程中会存在一定量的四氟化硅废气，现阶段本公司采用利用低浓度HF溶液进行尾气吸收处理；如本公司于2019年03月05日授权的专利号为201821235890.4，专利名称为一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的处理设备所记载；经过一端时间的使用后发现由于四氧化硅反应釜气体的生成量是会有变化的，导致运行系统不稳定，并且长时间存在内部气压波动也极不安全；另外，经过水洗吸收完成的合格气体中还存在一部分的气体中会带走部分用于中和多余的氢氟酸的碱性液体，会造成浪费且会导致外界环境会受到污染。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置。

本发明的技术方案是这样实现的：一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置，包括一级循环水洗部、二级循环水洗部、三级循环水洗部、循环碱洗部以及尾气风机；所述一级循环水洗部、二级循环水洗部、循环碱洗部以及尾气风机依次逐级连通，其特征在于：所述一级循环部的输入端设置有用于缓冲待处理的SIF4气体压力波动的缓冲单元；所述缓冲单元包括尾气缓冲罐；所述尾气缓冲罐包括内部设置有缓冲腔的罐体、设置在缓冲腔内的螺旋缓冲管以及蝶阀；所述尾气缓冲罐上设置有进气管和出气管；所述螺旋缓冲管横向设置缓冲腔内；且螺旋缓冲管的两端分别与进气管和出气管连通；所述蝶阀安装在出气管的输出口内。

优选为：所述罐体上安装有用于推动内部低气压的SiF4气体的推动装置；所述推动装置包括空压机、引气管、单向阀以及压力监控器；所述空压机的输出端通过所述引气管和三通与进气管的中部连通；所述单向阀安装在引气管上；所述压力监控器安装在进气管上。

优选为：所述罐体上还安装有用于冷却气体的冷却装置；所述冷却装置包括水冷凝器和引水管；所述水冷凝器输出端通过所述引水管与缓冲腔连通；所述罐体底部设置有与缓冲腔连通的出水口。

优选为：所述循环碱洗部与尾气风机之间设置有用于将合格尾气中部分碱液回收的气液分离器；所述气液分离器的输入端与循环碱洗部的尾气输出端连通；所述气液分离器上设置有排水口和排气口；所述气液分离器的排气口与尾气风机输入端连通，排水口通过引流管与循环碱洗部中的碱液储存槽连通。

优选为：所述尾气风机的输出口上安装有网格型过滤板。

与现有技术相比较，本发明带来的有益效果为：首先，通过设置有尾气缓冲单元可以防止进入一级循环水洗部的SiF4气体产生剧烈的压力波动，确保气体流量均匀，保证该尾气吸收系统的可以保持平稳运行。

其中，将尾气缓冲罐设置成内部设置有缓冲腔的罐体，罐体内横向设置有螺旋缓冲管，进入尾气缓冲罐内部的气体会经过内部的螺旋缓冲管进行缓冲；实现缓冲压力波动的效果。

螺旋缓冲管的缓冲原理：螺旋缓冲管的管道呈螺旋状，并且横向设置在罐体内，此时螺旋缓冲管存在高低位，当气体进过多次的低位向高位移动，在这个阻力不间断的过程中可以实现气体缓冲的效果；