[实用新型]一种半导体器件检测用温度湿度控制装置有效

专利信息
申请号: 202020738379.7 申请日: 2020-05-08
公开(公告)号: CN212275881U 公开(公告)日: 2021-01-01
发明(设计)人: 康军 申请(专利权)人: 陕西麦特检测技术服务有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 710000 陕西省西安*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体器件 检测 温度 湿度 控制 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体器件检测用温度湿度控制装置,包括安装板(1),其特征在于:所述安装板(1)底部固定安装有蓄水箱(2),所述蓄水箱(2)的底部开凿有滑槽(3),所述滑槽(3)的内部转动连接有丝杆(4),所述蓄水箱(2)一侧固定安装有伺服电机(5),所述伺服电机(5)穿入到滑槽(3)的内部并与丝杆(4)固定连接,所述滑槽(3)的内部滑动连接有滑块(6),所述丝杆(4)贯穿滑块(6)并与滑块(6)螺纹连接,所述滑块(6)的底部固定安装有喷水块(7),所述喷水块(7)的底部固定安装有雾化喷头(8),所述蓄水箱(2)底部远离伺服电机(5)的一侧固定安装有固管架(9),所述蓄水箱(2)内部靠近固管架(9)的一侧固定安装有安装箱(10),所述安装箱(10)的内部固定安装有水泵(11),所述水泵(11)的输入端贯穿安装箱(10),所述水泵(11)的输出端贯穿蓄水箱(2)并固定安装有输水管(12),所述输水管(12)远离水泵(11)的一侧穿过固管架(9)并与喷水块(7)固定连接,所述蓄水箱(2)底部一侧固定安装有安装块(13),所述安装块(13)的底部固定安装有湿度传感器(14),所述安装块(13)底部靠近湿度传感器(14)的一侧固定安装有温度传感器(15),所述蓄水箱(2)底部固定安装有若干加热灯(16)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体器件检测用温度湿度控制装置,其特征在于,所述蓄水箱(2)一侧开凿有观察窗(17),所述观察窗(17)的内部镶嵌有玻璃。

3.根据权利要求1所述的一种半导体器件检测用温度湿度控制装置,其特征在于,所述蓄水箱(2)靠近观察窗(17)的一侧固定安装有LED显示屏(18)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体器件检测用温度湿度控制装置,其特征在于,所述蓄水箱(2)靠近LED显示屏(18)的一侧固定安装有控制面板(19),所述伺服电机(5)、水泵(11)、湿度传感器(14)、温度传感器(15)、加热灯(16)和LED显示屏(18)均与控制面板(19)电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体器件检测用温度湿度控制装置,其特征在于,所述安装板(1)上且位于蓄水箱(2)相对应的两侧均开凿有两个安装孔(20)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体器件检测用温度湿度控制装置,其特征在于,所述输水管(12)由橡胶材质制成。

7.根据权利要求1所述的一种半导体器件检测用温度湿度控制装置,其特征在于,所述蓄水箱(2)一侧且位于伺服电机(5)的上方固定安装有加水管(21)。

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