[实用新型]一种防腐可调磁钢

说明书

一种防腐可调磁钢，包括磁铁、磁轭和不锈钢方管；磁铁并排设置有三个，其中，位于中部的磁铁的磁极与位于两侧的两个磁铁的磁极相异；磁铁设置在不锈钢方管内部；不锈钢方管两端分别设置有用于密封不锈钢方管的两个密封件，不锈钢方管设置在磁轭上；磁轭上设置有用于调节磁轭位置的调节件。本实用新型具有防腐功能，能调整靶管表面的磁性大小，从而满足不同的工艺需要。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射镀膜设备技术领域，尤其涉及一种防腐可调磁钢。

背景技术

现有的靶管内径都是125mm规格，而磁钢也是针对这一规格来设计生产。市场上有部分厂家因生产要求，需要在镀膜设备上使用靶管内径为80mm的小规格靶管，目前没有针对靶管内径80mm规格的磁钢。由于磁钢是整体浸泡在冷却水中，而磁铁本身极易被水腐蚀。

实用新型内容

(一)实用新型目的

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种防腐可调磁钢，磁钢为三磁道，中间为N极，两侧为S极；形成一个较窄的磁力线闭合环形区间；磁铁1设置在不锈钢方管3内部，不锈钢方管3两端有密封件4能使磁铁1与水严格隔离；调节件5用来调节磁轭2的位置。

(二)技术方案

本实用新型提供了一种防腐可调磁钢，包括磁铁、磁轭和不锈钢方管；

磁铁并排设置有三个，其中，位于中部的磁铁的磁极与位于两侧的两个磁铁的磁极相异；磁铁设置在不锈钢方管内部；不锈钢方管两端分别设置有用于密封不锈钢方管的两个密封件，不锈钢方管设置在磁轭上；磁轭上设置有用于调节磁轭位置的调节件。

优选的，密封件为环氧树脂。

优选的，调节件为调节螺钉。

优选的，还包括有靶材和靶管；不锈钢方管和磁轭均设置在靶管内部；靶管内部注满有冷却水，靶管上设置有用于连接靶管与靶材的靶材背管。

优选的，靶管内径为80mm。

与现有技术相比，本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：磁钢为三磁道，中间为N极，两侧为S极；形成一个较窄的磁力线闭合环形区间；磁铁设置在不锈钢方管内部，不锈钢方管两端有密封件能使磁铁与水严格隔离；调节件用来调节磁轭的位置。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种防腐可调磁钢的结构示意图。

图2为本实用新型提出的一种防腐可调磁钢中的局部剖面结构示意图。

附图标记：1、磁铁；2、磁轭；3、不锈钢方管；4、密封件；5、调节件；6、冷却水；7、靶材；701、靶材背管；8、靶管。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。

如图1-2所示，本实用新型提出的一种防腐可调磁钢，包括磁铁1、磁轭2和不锈钢方管3；

磁铁1并排设置有三个，其中，位于中部的磁铁1的磁极与位于两侧的两个磁铁1的磁极相异；磁铁1设置在不锈钢方管3内部；不锈钢方管3两端分别设置有用于密封不锈钢方管3的两个密封件4，不锈钢方管3设置在磁轭2上；磁轭2上设置有用于调节磁轭2位置的调节件5。

本实用新型中，磁钢为三磁道，中间为N极，两侧为S极；形成一个较窄的磁力线闭合环形区间；磁铁1设置在不锈钢方管3内部，不锈钢方管3两端有密封件4能使磁铁1与水严格隔离；调节件5用来调节磁轭2的位置。