[实用新型]一种大视场振镜外同轴视觉成像装置

权利要求书

1.一种大视场振镜外同轴视觉成像装置，其特征在于，包括用于放置待加工工件的加工平台，以及设置于加工件上方的照明光源、场镜、振镜、分光镜座、摄像镜头、CCD、激光器，所述照明光源、摄像镜头、CCD均设置在分光镜座上，所述分光镜座内还设置有分光镜，所述激光器经振镜、场镜发出的激光光束的轴线与CCD经摄像镜头接收的影像的轴线经分光镜反射后的轴线同轴，所述激光器发射的激光光束依次经振镜、场镜、分光镜照射至待加工工件的表面，所述照明光源用于照射待加工工件表面，待加工工件表面反射的照明光源光束经分光镜反射到摄像镜头，再通过CCD接收并形成图像。

2.根据权利要求1所述的大视场振镜外同轴视觉成像装置，其特征在于，所述振镜和CCD垂直设置。

3.根据权利要求1所述的大视场振镜外同轴视觉成像装置，其特征在于，所述分光镜与振镜的轴线成45°。

4.根据权利要求1所述的大视场振镜外同轴视觉成像装置，其特征在于，所述分光镜透射激光光束，反射照明光源光束。

5.根据权利要求4所述的大视场振镜外同轴视觉成像装置，其特征在于，所述分光镜对激光光束和照明光源光束在大角度或宽光谱下的透过率或反射率均匀。

6.根据权利要求1所述的大视场振镜外同轴视觉成像装置，其特征在于，所述激光器的波长为355nm、532nm、808nm、980nm或1064nm。

7.根据权利要求1所述的大视场振镜外同轴视觉成像装置，其特征在于，所述照明光源为红光、蓝光或红外光。

8.根据权利要求7所述的大视场振镜外同轴视觉成像装置，其特征在于，所述照明光源为四个且均匀设置在待加工工件上方的四周。