[实用新型]一种晶圆放置对准装置

权利要求书

1.一种晶圆放置对准装置，其特征在于，包括用于放置晶圆样品的承载装置(1)，与承载装置(1)固定连接的对准调节装置(2)，以及设置于测试设备上的对位孔(3)及激光定位装置；所述承载装置(1)包括定位承载台(4)，设置于定位承载台(4)下方的定位激光管(5)，设置于定位承载台(4)上方的旋转机构，以及与旋转机构拆卸式连接的样品托盘(6)；所述定位激光管(5)用于发射对位激光与对位孔(3)对准以定位承载装置(1)的位置，所述激光定位装置与旋转机构配合用于晶圆样品的位置对准。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆放置对准装置，其特征在于，所述旋转机构包括设置于定位承载台(4)内的伺服电机(7)，与伺服电机(7)相连的转轴(8)，与转轴(8)相连的旋转圆台(9)，以及设置于旋转圆台(9)的圆周边缘的多个卡接凸起(10)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆放置对准装置，其特征在于，所述样品托盘(6)包括与旋转圆台(9)通过卡接凸起(10)拆卸式连接的圆管套(11)和与圆管套(11)固为一体设置的托盘本体(12)；其中，所述晶圆样品预先放置于托盘本体(12)上，且晶圆样品的边缘均超出托盘本体(12)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆放置对准装置，其特征在于，所述激光定位装置包括固定连接于测试设备上的调节滑槽(13)，与调节滑槽(13)滑动连接的激光发射组件(14)，以及设置于测试设备的检测台上的激光接收组件(15)；其中，所述激光接收组件(15)与伺服电机(7)的控制器电性连接，所述调节滑槽(13)上标记有以检测中心为原点的刻度(16)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆放置对准装置，其特征在于，所述对位孔(3)设置有三个，且呈三角设置；所述定位激光管(5)与对位孔(3)呈相同方式设置。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆放置对准装置，其特征在于，所述对准调节装置(2)包括固定于地面设置的支撑架(17)，设置于支撑架(17)上的安装板(18)，安装于安装板(18)上的旋转电机(19)，与旋转电机(19)相连的旋转圆盘(20)，设置于旋转圆盘(20)上的前后丝杆驱动机构(21)，与前后丝杆驱动机构(21)固定连接的前后移动板(22)，设置于前后移动板上(22)的左右丝杆驱动机构(23)，与左右丝杆驱动机构(23)固定连接的左右移动板(24)，以及设置于左右移动板(24)上的提手块(25)；所述提手块(25)与定位承载台(4)固为一体设置。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆放置对准装置，其特征在于，所述前后丝杆驱动机构(21)、左右丝杆驱动机构(23)均采用电动丝杆驱动机构。