[实用新型]一种反射光相位信息表征装置

权利要求书

1.一种反射光相位信息表征装置，包括：光源(1)、起偏器(2)、第一1/4波片(3)、第一偏振分束器(4)、第一样品台(5)、第二偏振分束器(6)、第一反射镜(7)、第二样品台(8)、第二反射镜(9)、第二1/4波片(10)、检偏器(11)、探测器(12)，其特征在于：

所述装置的左侧为左臂，右侧为右臂，其中左臂包括：光源(1)、起偏器(2)、第一1/4波片(3)、第一偏振分束器(4)、第一反射镜(7)，右臂包括：第二偏振分束器(6)、第二反射镜(9)、第二1/4波片(10)、检偏器(11)、探测器(12)，并且左臂与右臂可独立围绕垂直于第一样品台(5)的台面中心轴旋转；

其光路特征在于：从光源(1)出来的光首先经过起偏器(2)、第一1/4波片(3)，其次经过第一偏振分束器(4)，将光路分为光路1与光路2两条光路；光路1的光经过第一样品台(5)上被测样品后进入第二偏振分束器(6)，光路2的光经过第一反射镜(7)后入射在第二样品台(8)的标准样件上，之后经过第二反射镜(9)后进入第二偏振分束器(6)，汇合后的两束光同时出射依次经过第二1/4波片(10)、检偏器(11)，最后进入探测器(12)。

2.根据权利要求1所述的一种反射光相位信息表征装置，其特征在于，所述的第一偏振分束器(4)的分光比1：1。