[实用新型]蒸镀掩模

说明书

本公开的蒸镀掩模，在设从P1点到Q1点的尺寸为X1，设从P2点到Q2点的尺寸为X2，设尺寸X1和尺寸X2的设计值为α_X时，所述蒸镀掩模满足数式1，【数式1】

本申请是分案申请，其原申请的中国国家申请号为201921052051.3，申请日为2019年07月05日，发明名称为“蒸镀掩模”。

技术领域

本公开涉及蒸镀掩模。

背景技术

近年来，对于在智能手机、平板电脑等可移动设备中使用的显示装置，要求高精细化，例如像素密度为500ppi以上。另外，即使在可移动设备中，对于超高清的需要也在不断高涨，在该情况下，要求显示装置的像素密度例如为800ppi以上。

在显示装置中，由于响应性良好、耗电低且对比度高，所以有机EL显示装置正在受到关注。作为形成有机EL显示装置的像素的方法，公知有这样的方法：使用形成有以希望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模，按照希望的图案形成像素(例如，参照专利文献1)。具体来说，首先，使蒸镀掩模以张紧设置的状态紧密贴合于有机EL显示装置用的基板，接着，将紧密贴合的蒸镀掩模和基板一起放入到蒸镀装置中，进行使有机材料蒸镀到基板上的蒸镀工序。在该情况下，为了精密地制作具有高像素密度的有机EL显示装置，要求按照设计精密地再现张紧设置时的蒸镀掩模的贯通孔的位置。

专利文献1：日本特开2001-234385号公报

实用新型内容

本公开的目的在于，提供能够提高张紧设置时的贯通孔的位置精度的蒸镀掩模。

本公开的第1方式是蒸镀掩模，其在第1方向上延伸，该蒸镀掩模的特征在于，具有：第1中心轴线，其在所述第1方向上延伸，配置在与所述第1方向垂直的第2方向的中心位置处；P1点和Q1点，它们设置在所述第1中心轴线的一侧，沿着所述第1方向互相分离；以及P2点和Q2点，它们设置在所述第1中心轴线的另一侧，沿着所述第1方向互相分离，其中，

在设从所述P1点到所述Q1点的尺寸为X1，设从所述P2点到所述Q2点的尺寸为X2，设所述尺寸X1和所述尺寸X2的设计值为α_X时，所述蒸镀掩模满足数式1，

【数式1】

本公开的第2方式是蒸镀掩模，其在第1方向上延伸，并具有多个贯通孔，该蒸镀掩模的特征在于，

所述蒸镀掩模具有：第1中心轴线，其在所述第1方向上延伸，配置在与所述第1方向垂直的第2方向的中心位置处；P1点和Q1点，它们设置在所述第1中心轴线的一侧，沿着所述第1方向互相分离；以及P2点和Q2点，它们设置在所述第1中心轴线的另一侧，沿着所述第1方向互相分离，

在设从所述P1点到所述Q1点的尺寸为X1，设从所述P2点到所述Q2点的尺寸为X2，设所述尺寸X1和所述尺寸X2的设计值为α_X，设从所述P1点到所述P2点的尺寸和从所述Q1点到所述Q2点的尺寸的设计值为α_Y，设所述第2方向上的两个所述贯通孔的中心点之间的距离中的最大值为W_Y时，所述蒸镀掩模满足数式2，

【数式2】

根据本公开，能够提高张紧设置时的贯通孔的位置精度。

附图说明

图1是示出具有本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的蒸镀装置的图。

图2是示出使用图1所示的蒸镀掩模装置制造出的有机EL显示装置的剖视图。

图3是示出本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的俯视图。

图4是示出图3所示的蒸镀掩模的有效区域的局部俯视图。