[实用新型]蒸镀掩模有效

专利信息
申请号: 202020747759.7 申请日: 2019-07-05
公开(公告)号: CN212476863U 公开(公告)日: 2021-02-05
发明(设计)人: 池永知加雄 申请(专利权)人: 大日本印刷株式会社
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/24
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 金玲;崔成哲
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 蒸镀掩模
【说明书】:

本公开的蒸镀掩模,在设从P1点到Q1点的尺寸为X1,设从P2点到Q2点的尺寸为X2,设尺寸X1和尺寸X2的设计值为αX时,所述蒸镀掩模满足数式1,【数式1】

本申请是分案申请,其原申请的中国国家申请号为201921052051.3,申请日为2019年07月05日,发明名称为“蒸镀掩模”。

技术领域

本公开涉及蒸镀掩模。

背景技术

近年来,对于在智能手机、平板电脑等可移动设备中使用的显示装置,要求高精细化,例如像素密度为500ppi以上。另外,即使在可移动设备中,对于超高清的需要也在不断高涨,在该情况下,要求显示装置的像素密度例如为800ppi以上。

在显示装置中,由于响应性良好、耗电低且对比度高,所以有机EL显示装置正在受到关注。作为形成有机EL显示装置的像素的方法,公知有这样的方法:使用形成有以希望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模,按照希望的图案形成像素(例如,参照专利文献1)。具体来说,首先,使蒸镀掩模以张紧设置的状态紧密贴合于有机EL显示装置用的基板,接着,将紧密贴合的蒸镀掩模和基板一起放入到蒸镀装置中,进行使有机材料蒸镀到基板上的蒸镀工序。在该情况下,为了精密地制作具有高像素密度的有机EL显示装置,要求按照设计精密地再现张紧设置时的蒸镀掩模的贯通孔的位置。

专利文献1:日本特开2001-234385号公报

实用新型内容

本公开的目的在于,提供能够提高张紧设置时的贯通孔的位置精度的蒸镀掩模。

本公开的第1方式是蒸镀掩模,其在第1方向上延伸,该蒸镀掩模的特征在于,具有:第1中心轴线,其在所述第1方向上延伸,配置在与所述第1方向垂直的第2方向的中心位置处;P1点和Q1点,它们设置在所述第1中心轴线的一侧,沿着所述第1方向互相分离;以及P2点和Q2点,它们设置在所述第1中心轴线的另一侧,沿着所述第1方向互相分离,其中,

在设从所述P1点到所述Q1点的尺寸为X1,设从所述P2点到所述Q2点的尺寸为X2,设所述尺寸X1和所述尺寸X2的设计值为αX时,所述蒸镀掩模满足数式1,

【数式1】

本公开的第2方式是蒸镀掩模,其在第1方向上延伸,并具有多个贯通孔,该蒸镀掩模的特征在于,

所述蒸镀掩模具有:第1中心轴线,其在所述第1方向上延伸,配置在与所述第1方向垂直的第2方向的中心位置处;P1点和Q1点,它们设置在所述第1中心轴线的一侧,沿着所述第1方向互相分离;以及P2点和Q2点,它们设置在所述第1中心轴线的另一侧,沿着所述第1方向互相分离,

在设从所述P1点到所述Q1点的尺寸为X1,设从所述P2点到所述Q2点的尺寸为X2,设所述尺寸X1和所述尺寸X2的设计值为αX,设从所述P1点到所述P2点的尺寸和从所述Q1点到所述Q2点的尺寸的设计值为αY,设所述第2方向上的两个所述贯通孔的中心点之间的距离中的最大值为WY时,所述蒸镀掩模满足数式2,

【数式2】

根据本公开,能够提高张紧设置时的贯通孔的位置精度。

附图说明

图1是示出具有本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的蒸镀装置的图。

图2是示出使用图1所示的蒸镀掩模装置制造出的有机EL显示装置的剖视图。

图3是示出本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的俯视图。

图4是示出图3所示的蒸镀掩模的有效区域的局部俯视图。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大日本印刷株式会社,未经大日本印刷株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202020747759.7/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top