[实用新型]蒸镀掩模有效
申请号: | 202020747759.7 | 申请日: | 2019-07-05 |
公开(公告)号: | CN212476863U | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 池永知加雄 | 申请(专利权)人: | 大日本印刷株式会社 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 金玲;崔成哲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸镀掩模 | ||
本公开的蒸镀掩模,在设从P1点到Q1点的尺寸为X1,设从P2点到Q2点的尺寸为X2,设尺寸X1和尺寸X2的设计值为αX时,所述蒸镀掩模满足数式1,【数式1】
本申请是分案申请,其原申请的中国国家申请号为201921052051.3,申请日为2019年07月05日,发明名称为“蒸镀掩模”。
技术领域
本公开涉及蒸镀掩模。
背景技术
近年来,对于在智能手机、平板电脑等可移动设备中使用的显示装置,要求高精细化,例如像素密度为500ppi以上。另外,即使在可移动设备中,对于超高清的需要也在不断高涨,在该情况下,要求显示装置的像素密度例如为800ppi以上。
在显示装置中,由于响应性良好、耗电低且对比度高,所以有机EL显示装置正在受到关注。作为形成有机EL显示装置的像素的方法,公知有这样的方法:使用形成有以希望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模,按照希望的图案形成像素(例如,参照专利文献1)。具体来说,首先,使蒸镀掩模以张紧设置的状态紧密贴合于有机EL显示装置用的基板,接着,将紧密贴合的蒸镀掩模和基板一起放入到蒸镀装置中,进行使有机材料蒸镀到基板上的蒸镀工序。在该情况下,为了精密地制作具有高像素密度的有机EL显示装置,要求按照设计精密地再现张紧设置时的蒸镀掩模的贯通孔的位置。
专利文献1:日本特开2001-234385号公报
实用新型内容
本公开的目的在于,提供能够提高张紧设置时的贯通孔的位置精度的蒸镀掩模。
本公开的第1方式是蒸镀掩模,其在第1方向上延伸,该蒸镀掩模的特征在于,具有:第1中心轴线,其在所述第1方向上延伸,配置在与所述第1方向垂直的第2方向的中心位置处;P1点和Q1点,它们设置在所述第1中心轴线的一侧,沿着所述第1方向互相分离;以及P2点和Q2点,它们设置在所述第1中心轴线的另一侧,沿着所述第1方向互相分离,其中,
在设从所述P1点到所述Q1点的尺寸为X1,设从所述P2点到所述Q2点的尺寸为X2,设所述尺寸X1和所述尺寸X2的设计值为αX时,所述蒸镀掩模满足数式1,
【数式1】
本公开的第2方式是蒸镀掩模,其在第1方向上延伸,并具有多个贯通孔,该蒸镀掩模的特征在于,
所述蒸镀掩模具有:第1中心轴线,其在所述第1方向上延伸,配置在与所述第1方向垂直的第2方向的中心位置处;P1点和Q1点,它们设置在所述第1中心轴线的一侧,沿着所述第1方向互相分离;以及P2点和Q2点,它们设置在所述第1中心轴线的另一侧,沿着所述第1方向互相分离,
在设从所述P1点到所述Q1点的尺寸为X1,设从所述P2点到所述Q2点的尺寸为X2,设所述尺寸X1和所述尺寸X2的设计值为αX,设从所述P1点到所述P2点的尺寸和从所述Q1点到所述Q2点的尺寸的设计值为αY,设所述第2方向上的两个所述贯通孔的中心点之间的距离中的最大值为WY时,所述蒸镀掩模满足数式2,
【数式2】
根据本公开,能够提高张紧设置时的贯通孔的位置精度。
附图说明
图1是示出具有本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的蒸镀装置的图。
图2是示出使用图1所示的蒸镀掩模装置制造出的有机EL显示装置的剖视图。
图3是示出本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的俯视图。
图4是示出图3所示的蒸镀掩模的有效区域的局部俯视图。
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