[实用新型]一种防止打火的等离子刻蚀装置的下电极结构

权利要求书

1.一种防止打火的等离子刻蚀装置的下电极结构，包括下电极(1)和外部进气通道(2)；所述下电极(1)的上表面设置有冷却气槽(102a)；冷却气体经外部进气通道(2)进入冷却气槽(102a)；其特征在于：所述外部进气通道(2)内靠近下电极(1)的一端沿气流方向嵌入设置有多个首尾相连的毛细管(3)；每个所述毛细管(3)的两端均设置有台阶沉槽(301)；

每个所述毛细管(3)包括多个沿气流方向的流通支管(302)；所述流通支管(302)的两端开设在台阶沉槽(301)的槽底；相邻的两个毛细管(3)的流通支管(302)交错布置。

2.根据权利要求1所述的防止打火的等离子刻蚀装置的下电极结构，其特征在于：相邻的两个毛细管(3)的流通支管(302)沿径向交错布置。

3.根据权利要求2所述的防止打火的等离子刻蚀装置的下电极结构，其特征在于：所述下电极(1)包括底板(101)和固定在底板(101)上的顶板(102)；所述冷却气槽(102a)设置在顶板(102)上表面；所述顶板(102)的下表面加工有冷却气通道(102b)；所述底板(101)上设置有冷却气进口(101a)；

外部进气通道(2)的冷却气体依次流经冷却气进口(101a)、冷却气通道(102b)和冷却气槽(102a)。

4.根据权利要求3所述的防止打火的等离子刻蚀装置的下电极结构，其特征在于：所述冷却气槽(102a)为环状。

5.根据权利要求4所述的防止打火的等离子刻蚀装置的下电极结构，其特征在于：所述下电极(1)的外部设置有绝缘壳；所述绝缘壳包括固定在下电极(1)下方的陶瓷座(103)、围绕在下电极(1)侧壁外周的绝缘环(104)和固定在下电极(1)上方的陶瓷压环(105)。

6.根据权利要求5所述的防止打火的等离子刻蚀装置的下电极结构，其特征在于：还包括底座(106)、屏蔽环(107)和限制环(108)；所述底座(106)固定在反应腔体底部；所述屏蔽环(107)和限制环(108)依次设置在底座(106)上方；所述下电极(1)及其绝缘壳置于底座(106)上方，且位于屏蔽环(107)和限制环(108)内。