[实用新型]一种朗缪尔探针的测试电路

权利要求书

1.一种朗缪尔探针的测试电路，其特征在于，包括有源负载电路，无源负载电路，及与有源负载电路、无源负载电路连接的同轴接口；所述同轴接口与朗缪尔探针电性连接；所述有源负载电路包括稳压电源模块，电流源模块及二极管阵列模块。

2.根据权利要求1所述的一种朗缪尔探针的测试电路，其特征在于，所述电流源模块包括三极管Q1，三极管Q2；所述三极管Q1的基极与三极管Q2的基极电连接；所述三极管Q1、三极管Q2的发射极接地；所述三极管Q1的集电极与稳压电源模块电性连接；所述三极管Q2的集电极与二极管阵列模块电性连接；所述三极管Q1通过并联的若干个上拉电阻与稳压电源模块电性连接。

3.根据权利要求2所述的一种朗缪尔探针的测试电路，其特征在于，所述上拉电阻包括上拉电阻R1、上拉电阻R2、上拉电阻R3；所述上拉电阻R1、上拉电阻R2、上拉电阻R3并联，并通过开关S1与稳压电源模块电性连接。

4.根据权利要求3所述的一种朗缪尔探针的测试电路，其特征在于，所述二极管阵列模块包括若干个二极管单元组；所述二极管单元组的阳极输入端与同轴接口电连接，阴极输入端与三极管Q2的集电极电连接；所述二极管单元组为若干个二极管相互串联。

5.根据权利要求4所述的一种朗缪尔探针的测试电路，其特征在于，所述二极管单元组为三个，分别为二极管单元一组、二极管单元二组及二极管单元三组；所述二极管单元一组、二极管单元二组及二极管单元三组相互串联；所述二极管单元一组的阳极端与二极管单元二组的阴极端之间设有第一触点；所述二极管单元二组的阳极端与二极管单元三组的阴极端之间设有第二触点；所述二极管单元三组的阳极端设有第三触点；所述同轴接口设有档位开关S2，且档位开关S2与分别与第一触点、第二触点、第三触点电接触。

6.根据权利要求5所述的一种朗缪尔探针的测试电路，其特征在于，所述二极管单元一组包括二极管D1、二极管D2、二极管D3、二极管D4、二极管D5；所述二极管D1、二极管D2、二极管D3、二极管D4、二极管D5依次串联；所述二极管单元二组包括二极管D6、二极管D7、二极管D8、二极管D9、二极管D10；所述二极管D6、二极管D7、二极管D8、二极管D9、二极管D10依次串联；述二极管单元三组包括二极管D11、二极管D12、二极管D13、二极管D14、二极管D15；所述二极管D11、二极管D12、二极管D13、二极管D14、二极管D15依次串联；所述第一触点连接于二极管D5的阳极与二极管D6的阴极之间；所述第二触点连接于二极管D10的阳极与二极管D11的阴极之间；所述第三触点连接于二极管D15的阳极一端。

7.根据权利要求1所述的一种朗缪尔探针的测试电路，其特征在于，所述稳压电源模块包括变压器T1，电桥整流DR1，电容及稳压器U1；所述变压器T1用于对输入电压进行变压；所述电桥整流DR1用于对输入电压进行整流；所述电容用于对电压进行滤波；所述稳压器U1用于对整流滤波后的电压进行稳压。

8.根据权利要求2所述的一种朗缪尔探针的测试电路，其特征在于，所述三极管Q1与三极管Q2为相同型号的NPN双极型三极管。

9.根据权利要求1所述的一种朗缪尔探针的测试电路，其特征在于，所述无源负载电路包括旁路电阻模块；所述旁路电阻模块包括开关S3，及电阻R4、电阻R5、电阻R6；所述电阻R4、电阻R5、电阻R6并联；所述电阻R4、电阻R5、电阻R6一端均与开关S3电连接，另一端均接地。