[实用新型]一种用于组装电子屏幕的耐高温静电吸附装置

权利要求书

1.一种用于组装电子屏幕的耐高温静电吸附装置，用于不小于五十摄氏度环境下的工件吸附，其包括基板和设于基板上的复合吸附膜，其特征在于：该复合吸附膜包括从上至下依次设置的耐温层、与电源电连接以产生静电场的电极层和设于基板与电极层之间的隔离层，所述耐温层为玻璃层、陶瓷层和PEEK层中的一种或两种的复合层，其覆盖在电极层的上方。

2.根据权利要求1所述的耐高温静电吸附装置，其特征在于，所述隔离层为绝缘胶层或PI层，且该隔离层设置在电极层的下方。

3.根据权利要求1或2所述的耐高温静电吸附装置，其特征在于，所述电极层包括具有多个梳齿状延伸部的正极片和负极片，所述正极片的梳齿状延伸部和负极片的梳齿状延伸部交错设置。

4.根据权利要求3任所述的耐高温静电吸附装置，其特征在于，所述电极层上具有连接电源的正极端子和负极端子，当该正极端子和负极端子与电源电连接时，所述复合吸附膜上表面产生用于吸附工件的吸附力。

5.根据权利要求3所述的耐高温静电吸附装置，其特征在于，所述正极片的梳齿状延伸部与负极片的梳齿状延伸部之间的电气间隙相同，以使正极片与负极片间具有相同的电场强度。

6.根据权利要求3所述的耐高温静电吸附装置，其特征在于，所述电极层为经丝网印刷固化后的导电银浆层或经蚀刻液蚀刻后的铜箔层。

7.根据权利要求1所述的耐高温静电吸附装置，其特征在于，其还包括用于加热复合吸附膜的加热组件。

8.根据权利要求7所述的耐高温静电吸附装置，其特征在于，所述基板设有用于容纳加热组件的容置槽，该容置槽开口向上且其深度与加热组件的厚度相适配，以使加热组件贴合在复合吸附膜的下表面。

9.根据权利要求8所述的耐高温静电吸附装置，其特征在于，所述加热组件、复合吸附膜和基板间两两胶结设置。

10.根据权利要求7所述的耐高温静电吸附装置，其特征在于，容置槽设置在基板内部，所述加热组件通过对基板加热传递热量到复合吸附膜。