[实用新型]激光划片设备的加工台装置有效
申请号: | 202020761294.0 | 申请日: | 2020-05-09 |
公开(公告)号: | CN212793601U | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 孙青;吴超越 | 申请(专利权)人: | 江阴德龙能源设备有限公司 |
主分类号: | B23K26/70 | 分类号: | B23K26/70;B23K37/04;B23K26/362;H01L21/683;H01L21/78;H01L31/18 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 王玉国 |
地址: | 214400 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 划片 设备 加工 装置 | ||
1.激光划片设备的加工台装置,其特征在于:在加工台底板(126)上安装马达(125),马达(125)的转轴上安装加工转盘(121),加工转盘(121)上分布有多个加工载台(122),加工载台(122)的工作面上分布有数个与设于其内的气道相连通的吸附口,加工载台(122)旋转轨迹的下方设有背光源(124),气滑环(123)的活动端固定在滑环活动端固定板(128)上,滑环活动端固定板(128)安装在加工转盘(121)上,每一加工载台(122)的进气口与气滑环(123)的活动端接口连接,气滑环(123)的固定端固定在真空组件(13)上。
2.根据权利要求1所述的激光划片设备的加工台装置,其特征在于:所述真空组件(13)包含真空发生器(133)、真空电磁阀(134)、破真空电磁阀(135)、变径十字四通接头(1312)以及破真空电磁阀进气五通接头(1316),主气管(137)与破真空气管(138)、真空电磁阀气管(139)相连,真空电磁阀气管(139)与真空电磁阀(134)的进气口相连,真空电磁阀(134)的出气口与真空发生器(133)的进气口相连,真空发生器(133)的出气口与变径十字四通接头(1312)的真空进气端相连,变径十字四通接头(1312)的真空压力端与真空压力表(136)的进气口相连,变径十字四通接头(1312)的真空出气端与气滑环(123)的固定端接口相连,气滑环(123)的活动端接口与加工载台(122)的进气口相连;
破真空气管(138)与破真空电磁阀进气五通接头(1316)的主进气口相连,十字变径四通接头(1312)的破真空进气端与破真空电磁阀(135)的出气口相连,破真空电磁阀(135)的进气口与破真空电磁阀进气五通接头(1316)的支口相连,形成密闭回路。
3.根据权利要求2所述的激光划片设备的加工台装置,其特征在于:真空电磁阀(134)的出气口与真空发生器(133)的进气口之间通过真空发生器供气管(1310)相连。
4.根据权利要求2所述的激光划片设备的加工台装置,其特征在于:真空发生器(133)的出气口与变径十字四通接头(1312)的真空进气端之间通过真空气管(1311)相连。
5.根据权利要求2所述的激光划片设备的加工台装置,其特征在于:变径十字四通接头(1312)的真空压力端与真空压力表(136)的进气口之间通过真空表气管(1313)相连。
6.根据权利要求2所述的激光划片设备的加工台装置,其特征在于:变径十字四通接头(1312)的真空出气端与气滑环(123)的固定端接口之间通过气滑环进气管(1314)相连。
7.根据权利要求2所述的激光划片设备的加工台装置,其特征在于:气滑环(123)的活动端接口与加工载台(122)的进气口之间通过加工载台进气管(1315)相连。
8.根据权利要求2所述的激光划片设备的加工台装置,其特征在于:破真空电磁阀(135)的进气口与破真空电磁阀进气五通接头(1316)的支口之间通过破真空电磁阀进气管(1318)相连。
9.根据权利要求1所述的激光划片设备的加工台装置,其特征在于:真空组件(13)通过型材(132)固定在光路组件(11)的大理石立柱(111)上。
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