[实用新型]激光切割机

说明书

本实用新型属于激光切割技术领域，具体涉及一种激光切割机，本实用新型提出的激光切割机能够对具有内置器件的石英管利用激光进行旋转切割，不产生振动，并且切割端面整齐不会产生石英玻璃碎片，激光切割机通过运动升降单元承载石英管，通过激光生成单元生成激光，旋转切割单元将激光传输至聚焦镜，并且旋转切割单元控制聚焦镜输出的激光以石英管为轴线围绕石英管进行旋转切割，用户通过控制单元可控制激光切割机的运行状态，开管机以及调节石英管或者激光聚焦位置。

技术领域

本实用新型属于激光切割技术领域，具体涉及一种激光切割机。

背景技术

本部分提供的仅仅是与本公开相关的背景信息，其并不必然是现有技术。

传统的石英管切割开管方式，通常采用砂轮片进行切割，这种方式切割时高速旋转的砂轮片很容易将石英管切碎，导致石英碎片划伤晶圆器件或飞溅的石英碎片划伤操作人员；另一种常见的石英管切割开管方式采用金刚石围绕石英管划出印记，再通过施加外力敲击的方式沿着印记进行裂管，这种方式在通过外力敲击时很容易将石英管内晶圆器件震裂，导致器件不能使用。以上这两种开管方式都会对石英管内器件造成振动，管内器件损坏率高，且石英管切碎后不可再次使用，因此需要采用激光非接触式切割的方式进行开管。另外，市面上通用的激光切割机主要是用于切割金属管，激光头固定，切割时需要金属管自行旋转进行切割，这种方式无法满足石英管内密封器件开管的需求。

实用新型内容

本实用新型的目的是至少解决现有技术中用于石英石的激光切割机切割效果差的问题，该目的是通过以下技术方案实现的：

本实用新型提出了一种激光切割机，用于切割石英管，所述激光切割机包括：

机架；

设置于所述机架上的激光生成单元，所述激光生成单元用于生成激光；

设置于所述机架上的运动升降单元，所述运动升降单元设有用于承载所述石英管的石英管固定座，所述运动升降单元用于调整所述石英管至便于切割的位置；

设置于所述机架上的旋转切割单元，所述旋转切割单元用于将激光传输至切割位置，并且所述旋转切割单元用于控制输出的激光以安装在所述运动升降单元上的所述石英管的中心线为轴线围绕所述石英管进行旋转切割；

控制单元，所述控制单元与所述激光生成单元、所述旋转切割单元和所述运动升降单元电连接，所述控制单元用于控制所述激光切割机的运行状态。

本实用新型提出的激光切割机能够对具有内置器件的石英管利用激光进行旋转切割，不产生振动，并且切割端面整齐不会产生石英玻璃碎片，激光切割机通过运动升降单元承载石英管，通过激光生成单元生成激光，旋转切割单元将激光传输至输出位置，并且旋转切割单元控制输出的激光以石英管为轴线围绕石英管进行旋转切割，用户通过控制单元可控制激光切割机的运行状态，开管机以及调节石英管或者激光聚焦位置。

另外，根据本实用新型的激光切割机，还可具有如下附加的技术特征：

在本实用新型的一些实施例中，所述激光生成单元包括扩束镜和金属射频二氧化碳激光器，所述扩束镜用于放大所述金属射频二氧化碳激光器生成的激光。

在本实用新型的一些实施例中，所述旋转切割单元包括：

反射镜组件，所述反射镜组件接收所述扩束镜放大的激光，并传输所述激光；

调整架组件，所述调整架组件用于承载所述反射镜组件；

聚焦镜，所述聚焦镜的输入端接收所述反射镜组件输出的激光，所述聚焦镜的输出端输出激光；

旋转臂，所述旋转臂的第一端与所述聚焦镜连接；

同步旋转电机，所述同步旋转电机的输出端与所述旋转臂的第二端连接，所述同步旋转电机用于驱动所述旋转臂旋转。