[实用新型]一种单晶炉

权利要求书

1.一种单晶炉，所述单晶炉包括炉体，所述炉体内设置有坩埚支撑组件，所述坩埚支撑组件上部设置有坩埚，所述炉体的内壁和所述坩埚的外周之间设置有加热器，所述炉体的顶部设有籽晶提拉机构，其特征在于，所述单晶炉还包括：

设置于所述炉体外围的磁场发生器，用于产生覆盖所述炉体的磁场；

温度检测单元，用于检测所述坩埚内的温度；

磁场检测单元，用于检测所述炉体内的磁场强度。

2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述单晶炉还包括设置于所述坩埚的正上方的导流筒，所述磁场检测单元包括若干磁传感器，所述若干磁传感器间隔布设于所述导流筒的底部。

3.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述炉体的顶部开设有若干测温孔，所述测温孔内设置有密封隔热窗口，所述温度检测单元设置于所述窗口外侧。

4.根据权利要求3所述的单晶炉，其特征在于，所述温度检测单元为电荷耦合器件。

5.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，还包括：

坩埚驱动机构，所述坩埚驱动机构与所述坩埚支撑组件连接，用于驱动所述坩埚支撑组件做自转运动。

6.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，还包括：

控制器，所述控制器分别与所述温度检测单元、所述磁场检测单元、所述加热器以及所述磁场发生器连接，所述控制器用于根据所述温度检测单元检测的温度数据控制所述加热器调节所述坩埚内的温度、以及用于根据所述磁场检测单元检测的磁场强度数据控制所述磁场发生器调节所述炉体内的磁场强度。

7.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，还包括：

至少一对升降杆，所述升降杆竖直穿过炉体的圆顶室，所述升降杆的下端连接所述磁场检测单元。

8.根据权利要求7所述的单晶炉，其特征在于，还包括：

驱动装置，所述驱动装置设置在圆顶室外部，且所述驱动装置通过丝杆滑块与所述升降杆连接，所述驱动装置用于通过所述丝杆滑块驱动所述升降杆在竖直方向上作直线运动。

9.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述磁场检测单元包含三个测量头，所述三个测量头的探测器在同一时刻位于同一水平面内。