[实用新型]一种基于等离激元增强的石墨烯中红外光探测器

权利要求书

1.一种基于等离激元增强的石墨烯中红外光探测器，其特征在于：包括自下而上依次层叠设置的硅衬底、二氧化硅层、石墨烯微纳阵列和介质层；所述石墨烯微纳阵列和介质层位于二氧化硅层中间位置；所述二氧化硅层和介质层表面覆盖有石墨烯层；所述石墨烯层两侧分别设置有电极一和电极二。

2.根据权利要求1所述的一种基于等离激元增强的石墨烯中红外光探测器，其特征在于：所述硅衬底的背面上涂覆有金属层。

3.根据权利要求1所述的一种基于等离激元增强的石墨烯中红外光探测器，其特征在于：所述石墨烯微纳阵列为周期性排列的纳米带、纳米环或纳米圆盘中的一种。

4.根据权利要求1所述的一种基于等离激元增强的石墨烯中红外光探测器，其特征在于：所述石墨烯层的层数为单层。

5.根据权利要求1所述的一种基于等离激元增强的石墨烯中红外光探测器，其特征在于：所述石墨烯微纳阵列可以通过化学掺杂来调节石墨烯微纳结构的化学势从而调制其等离子共振吸收的光谱范围。

6.根据权利要求1所述的一种基于等离激元增强的石墨烯中红外光探测器，其特征在于：所述介质层为良好绝缘性的材料，阻挡电荷泄露，如六方氮化硼或其他高介电常数金属氧化物材料。

7.根据权利要求1所述的基于等离激元增强的石墨烯中红外光探测器，其特征在于：所述电极一和电极二为蝴蝶形天线电极，电极一和电极二由金、钛、铬、镍中单种金属电极或两种或多种金属复合构成。