[实用新型]一种硅片存放装置

权利要求书

1.一种硅片存放装置，其特征在于，具有水槽，在所述水槽内设有用于承载并控制片篮的控制单元，所述控制单元带动所述片篮在所述水槽内升降或倾斜；所述控制单元具有托板、用于控制所述托板倾斜的转轴以及用于推动所述托板升降的顶轴；所述转轴置于所述托板和所述顶轴上端面之间且分别与所述托板和所述顶轴连接；所述顶轴置于所述水槽内侧并使所述托板悬空设置。

2.根据权利要求1所述的一种硅片存放装置，其特征在于，所述托板与所述顶轴的连接处置于所述托板靠近所述片篮插片入口一侧。

3.根据权利要求2所述的一种硅片存放装置，其特征在于，所述托板上端面设有与所述片篮相适配的若干定位件。

4.根据权利要求3所述的一种硅片存放装置，其特征在于，所述托板靠近所述片篮插片入口一侧设有通孔，所述通孔贯穿所述托板厚度设置。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种硅片存放装置，其特征在于，还具有用于加速所述水槽内水流波动的喷管单元，所述喷管单元包括若干喷淋管，所述喷淋管置于所述控制单元与所述水槽之间。

6.根据权利要求5所述的一种硅片存放装置，其特征在于，设于所述喷淋管上的喷孔均不超出所述水槽内水位液面高度。

7.根据权利要求6所述的一种硅片存放装置，其特征在于，所述喷淋管对称设置在所述控制单元宽度方向两侧。

8.根据权利要求6或7所述的一种硅片存放装置，其特征在于，还具有用于监控所述控制单元移动高度的位置传感器，所述位置传感器置于所述控制单元上。

9.根据权利要求8所述的一种硅片存放装置，其特征在于，还具有控制器，所述控制器分别与所述控制单元、所述喷管单元和所述位置传感器连接。