[实用新型]一种电解抛光制备EBSD试样的磁性固定装置

说明书

一种电解抛光制备EBSD试样的磁性固定装置，包括上固定杆（1）、下固定杆（2）、永磁体（3）和弹簧（4）。所述下固定杆为上端开口下端封闭的中空管状结构，内壁有内螺纹；所述上固定杆下端有外螺纹，可旋入下固定杆内；永磁体放置在下固定杆中空底部；永磁体上压有弹簧；上固定杆通过端部螺纹旋入下固定杆并通过弹簧压紧永磁体。本实用新型磁性固定样品的侧面和底面均可固定铁磁类样品，样品既可水平固定于磁性固定装置底端，进行阴阳极水平放置的卧式电解抛光，也可垂直固定于磁性固定装置侧面，用于阴阳极垂直放置的立式电解抛光，抛光方式适用性强。

技术领域

本实用新型涉及一种电解抛光制备EBSD试样的磁性固定装置，属EBSD试样制备技术领域。

背景技术

在实际使用中，电子背散射衍射(EBSD)技术使用者常常由于样品制备不到位，得不到较好的菊池花样而影响分析数据的获得。EBSD分析对样品表面最基本的要求是“新鲜”、无应力、清洁、平整和良好的导电性，远高于扫描电镜或金相显微镜对样品的要求，因此EBSD样品制备难度较高，而微型和薄片状等特殊EBSD样品的制备难度就更高。微型和薄片状等特殊样品难以手持，采用常规的机械抛光方法存在诸多难度，制样不容易成功。采用离子束抛光虽然可以得到较好的效果，但离子束抛光设备较为昂贵，使用成本较高，且离子束抛光前需用打孔器将样品冲制成一定尺寸。电解抛光无需手持，设备廉价，使用成本低，方法简单，是微型和薄片状等特殊样品制备的首选方法。传统电解抛光过程中一般使用镊子作为固定样品的装置，为了使抛光表面的电流尽量均匀分布以保证较高的抛光质量，应使样品尽量靠近镊腿端部，以降低镊腿对抛光表面的遮挡和影响。然而微型和薄片状样品受到尺寸的限制，两个镍腿端部不可避免会挡住样品抛光表面，影响抛光表面的电流分布，在抛光表面靠近捏腿附近形成厚厚的钝化膜，即夹持影响区，夹持影响区常常覆盖样品大部分表面，导致制样失败。另一方面，目前电解抛光通常使用的镊子之类的夹具在固定微型和薄片状等特殊尺寸样品时效果不理想，在抛光过程中时常发生样品脱落、变形、移位等意外，导致抛光效果不理想甚至失败。

公开号CN 110658223 A公开了一种片状试样的电子背散射衍射制样辅助装置，将样品镶嵌后进行机械或者电解抛光，然后再将样品取出进行EBSD测试，镶嵌料主要成分为高分子材料，导电性有限，因此样品电解抛光的难度大大增加，而抛光效果却不够理想。

通过磁力吸附原理固定样品进行电解抛光样，是一种装置简单，操作简便，成本低廉，适用性广，制样效率高的制备微型和薄片状EBSD试样的方法，本实用新型提供了一种电解抛光制备EBSD试样的磁性固定装置。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种电解抛光制备EBSD试样的磁性固定装置，解决具有磁性的微型和薄片状等特殊尺寸样品，在电解抛光过程中与阳极稳定连接的难题。

本实用新型实现的技术方案如下，一种电解抛光制备EBSD试样的磁性固定装置，包括上固定杆、下固定杆、永磁体和弹簧。所述下固定杆为上端开口下端封闭的中空管状结构，上端内壁有内螺纹；所述上固定杆下端有外螺纹，可旋入下固定杆内，与下固定杆上端的内螺纹紧密连接；永磁体放置在下固定杆内部；弹簧放置在下固定杆内部，置于永磁体上；上固定杆通过端部螺纹旋入下固定杆并通过弹簧将永磁体紧密压在下固定杆底部。

所述永磁体为一圆柱体结构，其直径小于下固定杆内螺孔的孔径。

所述上固定杆为横截面为圆形的杆状结构。

所述下固定杆为横截面为正方形的杆状结构，沿下固定杆的长度方向，下固定杆一端的中心开有径向圆孔并攻有螺纹，圆孔不贯穿整个杆长，底部保留厚度为1～3mm。

本实用新型利用磁性原理将样品进行固定，可实现任何形状磁性样品的固定，尤其是解决了微型和薄片状样品不易固定的难题，结构简单、操作简易、不易脱落、不会导致样品变形。