[实用新型]用于等离子体发生装置的阴极组件及其等离子体发生装置

权利要求书

1.一种用于等离子体发生装置的阴极组件，其特征在于，包括：

阴极腔，包括阴极冷却入口、阴极放置槽和安装孔，所述安装孔设于阴极放置槽的外围，所述阴极冷却入口用于向所述阴极腔内输送冷却介质，所述阴极放置槽用于放置阴极替换部；

第一固定件，置于所述安装孔内与阴极腔之间可拆卸连接，用于固定所述阴极替换部。

2.如权利要求1所述的阴极组件，其特征在于，所述第一固定件包括第一端和第二端，所述第一端与阴极替换部的外侧壁接触，所述第一固定件的中心到阴极替换部的中心具有第一距离；所述阴极组件还包括：第二固定件，置于所述安装孔内与阴极腔之间可拆卸连接，其一端与第一固定件的第二端接触，所述第二固定件的中心到阴极替换部的中心具有第二距离，所述第二距离大于第一距离。

3.如权利要求2所述的阴极组件，其特征在于，所述安装孔为螺纹孔，所述第一固定件和第二固定件为螺钉。

4.如权利要求1所述的阴极组件，其特征在于，所述阴极替换部的侧壁设有凹槽，所述第一固定件的端部插入所述凹槽内。

5.如权利要求1所述的阴极组件，其特征在于，所述第一固定件的端部抵着所述阴极替换部的侧壁。

6.如权利要求1所述的阴极组件，其特征在于，所述阴极替换部具有通孔，所述第一固定件置于安装孔和通孔内。

7.如权利要求1所述的阴极组件，其特征在于，所述阴极冷却入口设于所述阴极腔的侧壁；所述阴极放置槽设有阴极腔的底部。

8.如权利要求1所述的阴极组件，其特征在于，所述阴极替换部的材料包括：紫铜或者钨合金中的至少一种。

9.如权利要求2所述的阴极组件，其特征在于，所述第一固定件的材料包括：不锈钢；所述第二固定件的材料包括：不锈钢。

10.如权利要求1所述的阴极组件，其特征在于，还包括：第一磁场发生装置，置于所述阴极腔内且靠近所述阴极替换部。

11.一种等离子体发生装置，其特征在于，包括：

如权利要求1至权利要求10任一项所述的阴极组件；

阳极组件，包括阳极，所述阴极与阴极替换部之间形成等离子体发生空间。

12.如权利要求11所述的等离子体发生装置，其特征在于，所述阳极组件还包括阳极腔，所述阳极腔包围阳极，所述阳极腔包括阳极冷却入口，所述阳极冷却入口用于向所述阳极腔内输送冷却介质。

13.如权利要求11所述的等离子体发生装置，其特征在于，还包括：绝缘件，设于阴极组件与阳极组件之间。

14.如权利要求12所述的等离子体发生装置，其特征在于，所述阳极组件还包括：第二磁场发生装置，置于所述阳极腔内且环绕所述阳极，用于约束等离子体，防止等离子体接触阳极的侧壁。

15.如权利要求11所述的等离子体发生装置，其特征在于，还包括：高压电源，设置于阴极替换部上；气体输送管道，用于向等离子体发生空间内输送气体。

16.如权利要求11所述的等离子体发生装置，其特征在于，所述阳极还包括等离子体出口，所述等离子体出口与阴极替换部相对设置。