[实用新型]一种适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶

权利要求书

1.一种适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶，其特征在于，包括引弧装置、阳极装置和旋转式电弧靶材装置；旋转式电弧靶材装置包括环形弧靶材和靶材旋转驱动机构，环形弧靶材设于靶材旋转驱动机构的输出端，引弧装置和阳极装置分别设于环形弧靶材相对的两面外侧；

所述靶材旋转驱动机构包括旋转驱动电机、旋转驱动齿轮组、旋转轴座和冷却组件，旋转驱动电机的输出端通过旋转驱动齿轮组与旋转轴座连接，旋转轴座的底部与环形弧靶材的顶面固定连接，冷却组件设于旋转轴座内部。

2.根据权利要求1所述一种适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶，其特征在于，所述冷却组件包括冷却水管、冷却水密封块和进出水咀，旋转轴座中部为中空结构，冷却水管设于旋转轴座内，且冷却水管下端伸出旋转轴座底部，冷却水管内形成第一冷却空间，冷水管外侧与旋转轴座之间形成第二冷却空间，且第二冷却空间延伸至环形弧靶材的顶面与旋转轴座之间；

冷却水管的下方设有冷却水密封块，冷却水密封块与环形弧靶材、旋转轴座之间均固定连接并且三者之间形成第三冷却空间，第一冷却空间、第三冷却空间和第二冷却空间依次连通形成冷却水路；

旋转轴座的外壁上设有至少两个进出水咀，当设有两个进出水咀时，其中一个进出水咀与第一冷却空间连通，另一个进出水咀与第二冷却空间连通。

3.根据权利要求1所述一种适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶，其特征在于，所述旋转轴座的外周还设有接电极环和第一密封座，接电极环的外侧设有弹簧，且接电极环通过弹簧固定于旋转轴座与第一密封座之间，第一密封座设于接电极环及旋转轴座的外周，第一密封座通过轴承组与旋转轴座连接。

4.根据权利要求1所述一种适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶，其特征在于，所述旋转轴座整体呈倒T型，包括相连接的横向支撑部和纵向支撑部，横向支撑部的底面与环形弧靶材连接，阳极装置设于横向支撑部的上方，纵向支撑部的上部通过旋转驱动齿轮组与旋转驱动电机连接。

5.根据权利要求1所述一种适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶，其特征在于，所述环形弧靶材呈底部带有凹型面的环状结构，凹型面也呈环状结构，环形弧靶材的中部为安装旋转驱动机构用的通孔。

6.根据权利要求5所述一种适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶，其特征在于，所述引弧装置包括引弧针和引弧驱动机构，引弧针的一端与引弧驱动机构连接，引弧针的另一端位于环形弧靶材底部的凹型面下方。

7.根据权利要求5所述一种适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶，其特征在于，所述引弧驱动机构包括引弧驱动气缸和第二密封座，引弧驱动气缸的输出末端与引弧针连接，第二密封座设于引弧驱动气缸的活塞杆外周，第二密封座与引弧驱动气缸之间还设有第一绝缘套。

8.根据权利要求1所述一种适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶，其特征在于，所述阳极装置包括阳极座、第三密封座、磁场发生组件和阳极冷却水进出座，第三密封座呈“凹”型，阳极冷却水进出座与第三密封座顶部连接，阳极冷却水进出座与第三密封座之间形成磁场发生空间，磁场发生组件设于磁场发生空间内；阳极座设于第三密封座外周，且阳极座与第三密封座之间还设有第二绝缘套。

9.根据权利要求1所述一种适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶，其特征在于，所述多弧靶安装于镀膜室内的安装平台上，旋转式电弧靶材装置与安装平台之间设有第三绝缘套，引弧装置与安装平台之间设有第四绝缘套，阳极装置与安装平台之间设有第五绝缘套。