[实用新型]化学气相沉积系统及其局域供气装置

权利要求书

1.一种局域供气装置，设置于化学气相沉积系统的腔室上，其特征在于，所述局域供气装置包含：

转向管，穿设于所述腔室并具有转向结构、内管口和外管口，所述内管口和所述外管口分别位于所述腔室的内部和外部；

腔内连接组件，设置于所述内管口；

供气终端管路，设置于所述腔室的内部并通过所述腔内连接组件连接于所述内管口；

腔外连接组件，设置于所述外管口；以及

腔外气体管路，设置于所述腔室的外部并通过所述腔外连接组件连接于所述外管口。

2.根据权利要求1所述的局域供气装置，其特征在于，所述转向管的所述转向结构的转向角度为90°。

3.根据权利要求1所述的局域供气装置，其特征在于，所述腔内连接组件包含：

腔内转换口，开设有通孔，所述通孔一端连通于所述内管口，另一端供所述供气终端管路穿设；以及

腔内密封螺母，与所述内管口外壁的外螺纹配合，并被配置为将所述腔内转换口固定于所述内管口。

4.根据权利要求3所述的局域供气装置，其特征在于，所述腔内连接组件还包含：

第一密封胶圈，垫设于所述腔内转换口与所述内管口之间。

5.根据权利要求1所述的局域供气装置，其特征在于，所述腔外连接组件包含：

适配套筒，套设于所述外管口；

腔外转换口，开设有通孔，所述通孔一端连通于所述适配套筒，另一端供所述腔外气体管路穿设；以及

腔外密封螺母，与所述适配套筒外壁的外螺纹配合，并被配置为将所述腔外转换口固定于所述适配套筒；

其中，所述腔室外部设置有法兰，所述适配套筒穿设于所述法兰的法兰接口。

6.根据权利要求5所述的局域供气装置，其特征在于，所述腔外连接组件还包含：

第二密封胶圈，垫设于所述腔外转换口与所述适配套筒之间；和/或

第三密封胶圈，绕设于所述适配套筒的外周，并在所述适配套筒与所述法兰接口之间形成密封。

7.根据权利要求1所述的局域供气装置，其特征在于，所述腔外连接组件包含：

腔外转换口，开设有通孔，所述通孔一端连通于所述外管口，另一端供所述腔外气体管路穿设；

腔外密封螺母，与所述外管口外壁的外螺纹配合，并被配置为将所述腔外转换口固定于所述外管口；以及

第四密封胶圈，垫设于所述腔外转换口与所述外管口之间。

8.根据权利要求7所述的局域供气装置，其特征在于，所述腔室外部设置有法兰，所述转向管的邻接其外管口的部分穿设于所述法兰的法兰接口；其中，所述转向管的邻接其外管口的部分的外周环绕设有第五密封胶圈，所述第五密封胶圈在所述转向管与所述法兰接口之间形成密封。

9.根据权利要求1所述的局域供气装置，其特征在于，所述供气终端管路的远离所述转向管的出气端部具有一个出气管口，所述出气管口开设于所述出气端部的端头位置；或者，所述供气终端管路的远离所述转向管的出气端部具有两个出气管口，所述两个出气管口分别开设于所述出气端部的端头位置和周向位置；或者，所述供气终端管路的远离所述转向管的出气端部具有花洒状结构，所述供气终端管路具有多个出气管口，所述多个出气管口开设于所述花洒状结构上。

10.一种化学气相沉积系统，其特征在于，所述化学气相沉积系统包含权利要求1～9任一项所述的局域供气装置，所述局域供气装置设置于所述化学气相沉积系统的腔室上。