[实用新型]一种带缓存罐三甲基铝蒸发输送设备

说明书

本实用新型属于半导体及光伏技术领域，提供了一种带缓存罐三甲基铝蒸发输送设备，包括设备柜体，所述设备柜体内固定安装有输送组件，输送组件包括进液管、进气管、蒸发器和缓冲罐，进液管上通过四通连接件连接第一进液管、第二进液管和第三进液管，第一进液管与缓冲罐连接，第二进液管与蒸发器的进液端连接，进气管通过三通连接件连接第一进气管和第二进气管，第一进气管与缓冲罐连接，第二进气管通过三通连接件连接第三进气管和第四进气管，第三进气管与蒸发器的进气端连接，进液管上安装有用于控制进液管开启或关闭的第一控制组件。本实用新型的一种带缓存罐三甲基铝蒸发输送设备，避免发生TMA原液供应不稳定的情况，提高了生产效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体及光伏技术领域，具体涉及一种带缓存罐三甲基铝蒸发输送设备。

背景技术

近年，一些大的太阳能电池制造公司研究在硅基太阳能电池表面增加氧化铝的薄膜，来增加太阳能电池的转化效率。三甲基铝正是制造氧化铝薄膜的核心原料之一，而蒸发柜是将三甲基铝原液和氩气进行一定比例的混合气化处理的输送设备。

传统的蒸发柜由厂房外围管道直接供应TMA(Trimethylaluminium，三甲基铝)原液，经过一段时间使用后发现，设备供应的TMA流量偶尔会因为外围管道长度、温度等因素的影响，导致TMA原液的流量出现波动，影响后端生产的产品质量，所以，需要对蒸发柜进行改进。

实用新型内容

针对现有技术中的缺陷，本实用新型提供的一种带缓存罐三甲基铝蒸发输送设备，避免发生TMA原液供应不稳定的情况，提高了生产效率。

为了解决上述技术问题，本实用新型提出以下技术方案：

一种带缓存罐三甲基铝蒸发输送设备，包括设备柜体，所述设备柜体内固定安装有输送组件，输送组件包括进液管、进气管、蒸发器和缓冲罐，进液管上通过四通连接件连接第一进液管、第二进液管和第三进液管，第一进液管与缓冲罐连接，第二进液管与蒸发器的进液端连接，进气管通过三通连接件连接第一进气管和第二进气管，第一进气管与缓冲罐连接，第二进气管通过三通连接件连接第三进气管和第四进气管，第三进气管与蒸发器的进气端连接，进液管上安装有用于控制进液管开启或关闭的第一控制组件，进气管上安装有用于控制进气管开启和关闭的第二控制组件，第一进液管、第二进液管、第一进气管、第二进气管和第三进气管上均固定安装有气动隔膜阀，第二进液管上安装有液体流量计，第二进气管上安装有气体流量控制器，第一控制组件、第二控制组件、液体流量计和气体流量控制器均与PLC控制器电连接，所述气动隔膜阀通过电磁阀阀岛与PLC控制器连接。

进一步地，所述缓冲罐上安装有超声波液位计，超声波液位计与PLC控制器电连接。

进一步地，所述第二控制组件包括压力传感器、用于显示压力的压力表和气动隔膜阀，压力传感器、压力表和气动隔膜阀分别安装与进气管上，气动隔膜阀通过电磁阀阀岛与PLC控制器连接，压力传感器与PLC控制器电连接。

进一步地，所述第一控制组件包括压力传感器、用于显示压力的压力表和气动微漏阀，压力传感器、压力表和气动微漏阀分别安装于进液管上，压力传感器与PLC控制器电连接，气动微漏阀通过电磁阀阀岛与PLC控制器连接。

进一步地，所述设备柜体的下部固定安装有罐体存放格，所述缓冲罐置于罐体存放格内。

进一步地，所述罐体存放格的内部侧壁填充有蛭石。

进一步地，所述罐体存放格的下方设有用于安装电器元件的抽拉箱，抽拉箱的外侧壁与设备柜体的侧壁滑动连接。

进一步地，所述第三进液管连接真空发生器，第四进气管连接真空发生器，第三进液管和第四进气管上均固定安装有气动隔膜阀，真空发生器和气动隔膜阀分别通过电磁阀阀岛与PLC控制器连接。