[实用新型]转台轴线方向位移测量装置

权利要求书

1.一种转台轴线方向位移测量装置，其特征在于，包括双频激光头(100)、分光组件(200)、干涉光路组件(300)、检测系统(400)、转台反射件(510)、转台(520)、支撑平台(540)、缩束组件(700)以及光隔离组件(800)，

所述转台反射件(510)设置在转台(520)上，所述双频激光头(100)、分光组件(200)、干涉光路组件(300)、缩束组件(700)以及光隔离组件(800)均安装在支撑平台(540)上；

所述双频激光头(100)发出的一组光束依次通过缩束组件(700)与光隔离组件(800)后形成双频总光线(610)，双频总光线(610)进入分光组件(200)后分成多路双频子光线(620)，双频子光线(620)又称为双频入射测量光(640)，双频入射测量光(640)进入干涉光路组件(300)，双频入射测量光(640)进入干涉光路组件(300)的分光装置后分成第一偏振入射光与第二偏振入射光，第一偏振入射光射入转台反射件(510)，经过转台反射件(510)反射形成第一偏振出射光，第二偏振入射光经干涉光路组件(300)的反射装置反射形成第二偏振出射光，第一偏振出射光与第二偏振出射光汇合形成测量干涉光路(650)，测量干涉光路(650)进入检测系统(400)；双频激光头(100)发出的另一组光束形成参考光(630)，参考光(630)入射检测系统(400)。

2.根据权利要求1所述的转台轴线方向位移测量装置，其特征在于，所述分光组件(200)包括一个或多个分光镜，分光组件(200)能够将双频总光线(610)分为多路双频子光线(620)。

3.根据权利要求1所述的转台轴线方向位移测量装置，其特征在于，所述分光组件(200)包括两个分光镜，即第一分光镜(210)和第二分光镜(220)，所述第一分光镜(210)的反射率为30％，所述第二分光镜(220)的反射率为50％。

4.根据权利要求1所述的转台轴线方向位移测量装置，其特征在于，所述干涉光路组件(300)与双频子光线(620)一一对应，干涉光路组件(300)包括偏振分光镜(320)、全反射角锥棱镜(330)以及转折反射镜(340)，所述偏振分光镜(320)能够将双频入射测量光(640)分成第一偏振入射光与第二偏振入射光，第一偏振入射光经过转折反射镜(340)入射转台反射件(510)，第二偏振入射光由全反射角锥棱镜(330)反射形成第二偏振出射光。

5.根据权利要求4所述的转台轴线方向位移测量装置，其特征在于，所述多个干涉光路组件(300)形成的第一偏振入射光均入射到一个转台反射件(510)上。

6.根据权利要求1所述的转台轴线方向位移测量装置，其特征在于，所述检测系统(400)包括探测器(410)和相位传感器(420)，所述探测器(410)连接相位传感器(420)，探测器(410)与干涉光路组件(300)一一对应，测量干涉光路(650)入射探测器(410)，参考光(630)入射相位传感器(420)，所述相位传感器(420)能够检测参考光(630)与测量干涉光路(650)之间的相位差，并生成转台(520)的位移测量信号。

7.根据权利要求6所述的转台轴线方向位移测量装置，其特征在于，所述探测器(410)为如下任一种或任多种结构：

-内置偏振片的探测器；

-配有独立起偏器的探测器。

8.根据权利要求1所述的转台轴线方向位移测量装置，其特征在于，还包括夹具(530)，转台反射件(510)通过夹具(530)安装在转台(520)上，所述转台反射件(510)包括猫眼反射镜。

9.根据权利要求1所述的转台轴线方向位移测量装置，其特征在于，所述缩束组件(700)包括一个或多个凸透镜，缩束组件(700)能够缩小双频激光头(100)的出射光斑。

10.根据权利要求1所述的转台轴线方向位移测量装置，其特征在于，所述光隔离组件(800)包括第一偏振分光镜(8101)、第二偏振分光镜(8102)、第一全反射棱镜(8201)、第二全反射棱镜(8202)、第一法拉第光隔离器(8301)、第二法拉第光隔离器(8302)、第一1/2波片(8401)以及第二1/2波片(8402)，

所述第一偏振分光镜(8101)将光束分为S偏振光和P偏振光，S偏振光依次入射第一法拉第光隔离器(8301)、第一1/2波片(8401)后形成P偏振光，再入射第二偏振分光镜(8102)；

P偏振光经过第一全反射棱镜(8201)反射后依次入射第二法拉第光隔离器(8302)、第二1/2波片(8402)形成S偏振光，再经过第二全反射棱镜(8202)反射后入射第二偏振分光镜(8102)；

P偏振光与S偏振光在第二偏振分光镜(8102)合束形成双频总光线(610)。