[实用新型]一种等离子体发生器

权利要求书

1.一种等离子体发生器，包括绝缘板和设置在绝缘板上的两个电极板，其特征在于：所述两电极板呈锐角设置，且两电极板夹角端之间有间隙，两电极板之间形成放电区域，还包括对放电区域内等离子体进行冲击的补气结构。

2.根据权利要求1所述的等离子体发生器，其特征在于：所述间隙≥5mm。

3.根据权利要求1所述的等离子体发生器，其特征在于：所述间隙=放电电源击穿电压/工作气体的击穿场强。

4.根据权利要求1所述的等离子体发生器，其特征在于：所述两电极板之间的夹角为α，0°＜α≤60°。

5.根据权利要求1所述的等离子体发生器，其特征在于：所述两电极板夹角端处相对的位置处分别为圆弧状。

6.一种等离子体发生器，包括绝缘板和设置在绝缘板上的两个电极板，其特征在于：所述两电极板平行设置，两电极板之间形成放电区域，还包括对放电区域内等离子体进行冲击的补气结构。

7.根据权利要求1或6所述的等离子体发生器，其特征在于：所述补气结构包括设置在绝缘板上且与放电区域相通的若干补气孔。

8.根据权利要求1或6所述的等离子体发生器，其特征在于：所述补气结构包括设置在放电区域外侧的若干喷气管，喷气管的出气口对准放电区域。

9.根据权利要求1或6所述的等离子体发生器，其特征在于：所述补气结构包括设置在绝缘板上的若干补气孔和导气槽，导气槽的槽口和两电极板的夹角端位于绝缘板的同一侧，补气孔连通放电区域和导气槽。

10.根据权利要求9所述的等离子体发生器，其特征在于：所述补气孔的轴线与两电极板的对称线相垂直。

11.根据权利要求1或6所述的等离子体发生器，其特征在于：所述补气结构包括分别设置在两电极板上的若干补气孔，或者设置在其中一个电极板上的若干补气孔，补气孔的出气口对准放电区域。