[实用新型]一种具有散热功能的溅镀载具

权利要求书

1.一种具有散热功能的溅镀载具，包括溅镀载具(1)和冷却剂供应源(10)，其特征在于：所述溅镀载具(1)的外侧设有矩形框架(2)，所述矩形框架(2)正面和左侧的内部均开设有分流管(14)，所述矩形框架(2)背面和右侧的内部均开设有汇流管(15)，所述矩形框架(2)的中部连接有冷却管路(17)，所述冷却管路(17)包括若干个相互贯通的第一管道(5)和第二管道(6)，所述第一管道(5)和第二管道(6)的两端分别连接于分流管(14)和汇流管(15)，所述矩形框架(2)顶部的四角均设有凸台(4)，所述溅镀载具(1)正面左侧的凸台(4)正面开设有导入口(3)，所述分流管(14)与导入口(3)连接，所述溅镀载具(1)右侧背面的凸台(4)顶部开设有导出口(7)，所述汇流管(15)与导出口(7)连接，所述冷却剂供应源(10)的左侧连接有添加管(8)，所述添加管(8)的中部安装有水泵(9)，所述添加管(8)远离冷却剂供应源(10)的一端与导入口(3)连接，所述冷却剂供应源(10)的右侧连接有回流管(13)，所述回流管(13)远离冷却剂供应源(10)的一端与导出口(7)连接。

2.根据权利要求1所述的一种具有散热功能的溅镀载具，其特征在于：所述冷却管路(17)的底部安装有若干个导热斗(11)，所述导热斗(11)位于两个相邻的第一管道(5)和两个相邻的第二管道(6)之间，所述导热斗(11)的底部开设有通孔(12)。

3.根据权利要求1所述的一种具有散热功能的溅镀载具，其特征在于：两个所述凸台(4)相靠近的一侧均为弧形。

4.根据权利要求1所述的一种具有散热功能的溅镀载具，其特征在于：所述第一管道(5)和第二管道(6)相互垂直，且相邻的所述第一管道(5)与第二管道(6)之间相互连通。

5.根据权利要求1所述的一种具有散热功能的溅镀载具，其特征在于：所述矩形框架(2)底部的四角均固定安装有导电底座(16)。

6.根据权利要求1所述的一种具有散热功能的溅镀载具，其特征在于：所述导出口(7)的高度高于导入口(3)。