[实用新型]一种基板支撑装置

说明书

本实用新型提供一种基板支撑装置，其包括主支撑体、两个辅支撑体以及支架，其中两个辅支撑体分别位于主支撑体的两侧；所述主支撑体包括固定在支架内且延伸至支架外的主支柱、固定在主支柱上的主底座以及固定在主底座内且突出主底座外的主陶瓷滚珠，其中，主底座与主陶瓷滚珠所接触处的表面设有倒角圆弧状结构；所述辅支撑体包括固定在支架内的辅支柱、固定在辅支柱上的辅底座以及固定在辅底座内且突出辅底座外的辅陶瓷滚珠，其中，辅底座与辅陶瓷滚珠所接触处的表面设有倒角圆弧状。本实用新型基板支撑装，有效避免了与基板接触过程中产生凹痕、破片和损坏等现象；有效的改善了良品率；同时大大提升使用寿命，减少更换次数和节约成本。

技术领域

本实用新型涉及一种基板支撑装置。

技术背景

用于高温烧结炉的基板支撑装置，如图1所示，基板支撑装置包括支杆10、固定在支杆10上的底座20以及固定在底座20上且突出支底座20外的陶瓷滚珠30，其中底座20易造成基板的背面划伤，导致薄化工艺后弧状凹痕不良高发，影响良品率。

具体的，在高温烧结炉的高温腔室环境中，基板先进行烘软，然后采用气体吹扫，吹扫时基板产生抖动并与陶瓷滚珠30和底座20之间的边缘产生轻微接触造成点伤，基板经过薄化工艺后出现明显外观凹痕不良发生，影响良品率。另外底座20和陶瓷滚珠30的接触处易囤积异物、受力点无法分散易导致陶瓷滚珠30卡死，卡死后会对基板的背面接触点位产生刮痕，影响基板支撑装置的使用寿命；

基板在销售之前需要进行外观检查，外观不良影响约20％，均产生弧状凹痕不良均由高温烧结炉内的基板支撑装置造成，滚珠卡死现象越发严重，更换频率高，直接影响设备稼动、良品率等，对生产企业造成损失，因此需要一种新型的基板支撑装置来改善相关异常状况。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种改善凹痕不良且同时延迟使用周期的基板支撑装置。

本实用新型提供一种基板支撑装置，其包括主支撑体、两个辅支撑体以及固定所述主支撑体和两个辅支撑体的支架，其中两个辅支撑体分别位于主支撑体的两侧；所述主支撑体包括固定在支架内且延伸至支架外的主支柱、固定在主支柱上的主底座以及固定在主底座内且突出主底座外的主陶瓷滚珠，其中，主底座与主陶瓷滚珠所接触处的表面设有倒角圆弧状结构；所述辅支撑体包括固定在支架内的辅支柱、固定在辅支柱上的辅底座以及固定在辅底座内且突出辅底座外的辅陶瓷滚珠，其中，辅底座与辅陶瓷滚珠所接触处的表面设有倒角圆弧状。

优选地，所述主支撑体的倒角圆弧状结构的倒角的范围为15°-30°；所述辅支撑体的倒角圆弧状结构的倒角的范围为15°-30°。

优选地，所述主支撑体的倒角圆弧状结构的倒角小于所述辅支撑体的倒角圆弧状结构的倒角。

优选地，所述主支撑体的倒角圆弧状结构的倒角为17°，所述辅支撑体的倒角圆弧状结构的倒角为30°。

优选地，所述支架内设有固定主支撑体的第一安装孔以及固定每个辅支撑体的第二安装孔。

优选地，所述第一安装孔的内径大于第二安装孔的内径。

优选地，所述支架的长度范围为30mm-60mm。

本实用新型基板支撑装，有效避免了与基板接触过程中产生凹痕、破片和损坏等现象；有效的改善了良品率；同时大大提升使用寿命，减少更换次数和节约成本。

附图说明

图1为现有基板支撑装置的示意图；

图2为本实用新型基板支撑装置的结构示意图；

图3为图2所示基板支撑装置的主支撑体的结构示意图；

图4为图2所示基板支撑装置的辅支撑体的结构示意图；