[实用新型]一种扫描振镜

说明书

本实用新型涉及一种扫描振镜，包括壳体、X轴振镜组件、Y轴振镜组件和反射镜，壳体设有进光孔、出光孔和反射镜腔，进光孔、反射镜腔以及出光孔相连通，至少Y轴振镜组件包括变折射率镜片组件，变折射率镜片组件包括至少包括可变折射率镜片和控制模块，控制模块用于改变可变折射率镜片的通电电流或所处磁场的磁场强度进而控制可变折射率镜片的折射率，激光从进光孔进入经反射镜反射先后经X轴振镜组件和Y轴振镜组件控制激光方向的偏转后通过出光孔离开扫描振镜。本实用新型由于至少Y轴振镜组件采用变折射率镜片组件，动态响应速度快，可以提高激光振镜扫描精度，而且可大幅度降低振镜装置重量，降低振镜固定支架强度需求。

技术领域

本实用新型属于微电子机械技术领域，具体涉及一种扫描振镜。

背景技术

激光振镜是一种由驱动板与高精度摆动电机组成的光学扫描器，广泛应用于激光打标、激光焊接、激光切割、激光3D打印以及激光检测和投影等领域。现有激光振镜在工作中，激光器发出激光，照射至振镜全反射镜片上，通过振镜电机摆动使光束在镜片上发生既定偏转，完成一定范围内指定位置的扫描加工。

现有技术中，振镜电机的精度和动态响应时间很大程度上决定整个振镜系统的工作性能，现有技术中，X轴振镜组件和Y轴振镜组件多采用电机带动镜片偏转实现激光偏转的技术方案，如专利CN 107790892 A公开了一种用于激光机的密闭式扫描振镜装置，其X振镜机构包括X振镜电机、由X振镜电机驱动的X振镜片，Y振镜机构包括Y振镜电机、由Y振镜电机驱动的Y振镜片，即采用的是上述方式，但是该方案的激光振镜的精度只能在有限的水平波动，很难进一步提高。

综上所述，亟需提供一种动态响应速度快，可以提高激光振镜扫描精度的扫描振镜。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种动态响应速度快，可以提高激光振镜扫描精度的扫描振镜。

上述目的是通过如下技术方案实现：一种扫描振镜，包括壳体、X轴振镜组件、Y轴振镜组件和反射镜，所述壳体设有进光孔、出光孔和反射镜腔，所述反射镜设置在所述反射镜腔内，所述进光孔、反射镜腔以及出光孔相连通，所述X轴振镜组件和Y轴振镜组件设置在所述壳体内，至少所述Y轴振镜组件包括变折射率镜片组件，所述变折射率镜片组件包括至少包括可变折射率镜片和控制模块，所述控制模块用于改变所述可变折射率镜片的通电电流或所处磁场的磁场强度进而控制所述可变折射率镜片的折射率，激光从进光孔进入经反射镜反射先后经X轴振镜组件和Y轴振镜组件控制激光方向的偏转后通过出光孔离开所述扫描振镜。

可变折射率镜片的折射率可以随着通电电流(磁场)的变化而变化(线性电光效应)，镜片的折射率与通电电流(磁场强度)成某一关系式，可以根据电流(磁场强度)计算出镜片的折射率。反射镜通过胶水嵌入至预设的反射镜腔内，镜片采用全反性镀膜，反射率95％以上。

应用过程中，激光从进光孔进入经反射镜反射后经X轴振镜组件，激光光路发生前后方向的改变，此后，激光照射至Y轴振镜组件，控制模块通过调整可变折射率镜片的通电电流或所处磁场的磁场强度，控制Y轴可变折射率镜片的折射率大小，从而控制激光左右方向的偏转，经Y轴振镜组件折射后激光通过出光孔离开扫描振镜，进行预设的扫描加工。

本实用新型由于至少Y轴振镜组件采用变折射率镜片组件，通过改变通电电流(磁场)改变可变折射率镜片的折射率，实现激光的偏转，这样动态响应速度快，可以提高激光振镜扫描精度，而且可大幅度降低振镜装置重量，降低振镜固定支架强度需求。

进一步的技术方案是，所述可变折射率镜片由KDP晶体组或铌酸锂制备，所述可变折射率镜片与电源电连，所述控制模块可改变所述可变折射率镜片的通电电流。

进一步的技术方案是，所述可变折射率镜片由磁流体制备，所述扫描振镜设有可变磁场，所述可变折射率镜片设置在所述可变磁场内，所述控制模块可改变所述可变磁场的磁场强度。