[实用新型]一种准单晶硅片的无尘清洗装置

权利要求书

1.一种准单晶硅片的无尘清洗装置，包括底座箱(1)、清洗箱(4)、传输带(10)、支撑杆(2)、固定机构和拆卸机构，其特征在于：所述支撑杆(2)的一侧设置有支撑板(3)，所述支撑板(3)的一侧表面固定连接有安装板(8)，所述固定机构位于安装板(8)的一侧，所述固定机构包括固定夹板(22)，所述安装板(8)的一侧表面开设有安装槽(15)，所述固定夹板(22)与安装槽(15)的间隙处连接有第一弹簧(21)，所述固定夹板(22)的一侧表面且位于第一弹簧(21)的一侧固定安装有连接柱(17)，且连接柱(17)贯穿于安装板(8)，所述连接柱(17)的一侧表面套接有橡胶套(20)，所述橡胶套(20)与固定夹板(22)的间隙处连接有弹簧套(16)，且弹簧套(16)位于限位块(18)的外部，所述连接柱(17)的一侧表面转动连接有限位块(18)，所述支撑杆(2)的一侧表面固定安装有套管(9)，所述支撑板(3)的一侧表面固定安装有第一连接管(11)，且第一连接管(11)贯穿于套管(9)，所述第一连接管(11)的一侧表面开设有安装孔(25)，所述安装孔(25)的外部设置有卡块(23)，所述卡块(23)与安装孔(25)的间隙处连接有第二弹簧(24)，所述套管(9)的一侧表面开设有调节卡槽(12)，所述清洗箱(4)位于底座箱(1)的顶端表面，所述传输带(10)位于底座箱(1)的顶端表面且位于清洗箱(4)的底部，所述支撑杆(2)位于传输带(10)的顶端表面，所述清洗箱(4)的顶端内侧表面设置有分流盘(6)，所述分流盘(6)的底端表面设置有喷头(5)。

2.根据权利要求1所述的一种准单晶硅片的无尘清洗装置，其特征在于：所述拆卸机构位于分流盘(6)与喷头(5)的连接处，所述拆卸机构包括连接板(7)，所述连接板(7)位于喷头(5)的一侧，所述分流盘(6)的底端表面固定安装有第二连接管(13)，且第二连接管(13)贯穿于喷头(5)的顶端表面，所述第二连接管(13)的一侧表面开设有固定槽(27)，所述连接板(7)的一侧表面固定安装有固定块(29)，所述固定块(29)的一侧位于固定槽(27)的内部，所述连接板(7)与喷头(5)的间隙处连接有第三弹簧(26)。

3.根据权利要求1所述的一种准单晶硅片的无尘清洗装置，其特征在于：所述固定夹板(22)的一侧表面设置有防滑垫(14)，所述固定夹板(22)的剖面形状为“凸”形。

4.根据权利要求1所述的一种准单晶硅片的无尘清洗装置，其特征在于：所述安装板(8)的一侧表面开设有限位孔(19)，所述连接柱(17)贯穿于限位孔(19)。

5.根据权利要求1所述的一种准单晶硅片的无尘清洗装置，其特征在于：所述调节卡槽(12)的数量设置有四组，且四组所述调节卡槽(12)均开设于套管(9)的表面。

6.根据权利要求2所述的一种准单晶硅片的无尘清洗装置，其特征在于：所述第三弹簧(26)的数量设置有两组，且两组所述第三弹簧(26)对称设置于固定块(29)的两侧。

7.根据权利要求2所述的一种准单晶硅片的无尘清洗装置，其特征在于：所述连接板(7)的一侧表面固定安装有拉环(30)，且拉环(30)的表面设置有防滑纹。

8.根据权利要求2所述的一种准单晶硅片的无尘清洗装置，其特征在于：所述喷头(5)的一侧表面开设有通孔(28)，所述固定块(29)贯穿于通孔(28)。