[实用新型]一种集中供源装置

权利要求书

1.一种集中供源装置,其特征在于：包括源瓶(126)、为源瓶(126)提供源液的源桶(122)以及为源瓶(126)保温的控温腔体(123)，所述源桶(122)上设置有压力控制装置、补充源液的进酸管道(106)和为源瓶(126)输送源液的补液件(127)，所述源瓶(126)上设置有输入载气的进气管(109)和管路输送机构，所述管路输送机构包括输出气体的气体输送机构和泄压管道机构。

2.根据权利要求1所述的一种集中供源装置，其特征在于：所述补液件(127)下端延伸至源桶(122)内，所述补液件(127)上端连通设置有补液管道(108)，所述补液管道(108)设置为多组，所述补液管道(108)上固设有补液泵(107)，所述补液管道(108)另一端固设于源瓶(126)上。

3.根据权利要求1所述的一种集中供源装置，其特征在于：所述源桶(122)上还设置有排酸装置，所述排酸装置包括排酸管道(104)，所述排酸管道(104)固设于源桶(122)，所述排酸管道(104)下侧且延伸至源桶(122)内，且所述排酸管道(104)下端面靠近源桶(122)底部，所述排酸管道(104)上连通设置有排酸泵(105)，所述排酸泵(105)驱动排酸管道(104)将所述源桶(122)内的源液排空，所述排酸装置还包括进气机构，所述进气机构包括固设于源桶(122)上的进气管路(100)，所述进气管路(100)下侧延伸至源桶(122)内，所述进气管路(100)上固设有单向动力阀(103)，所述单向动力阀(103)气流方向设置为外部流入源桶(122)，所述进气管路(100)上设置有气动阀(101)，用于控制气体的流通，所述进气机构维持源桶(122)内的源液排空和源桶(122)对源瓶(126)补充源液输送时的源桶压力。

4.根据权利要求3所述的一种集中供源装置，其特征在于：所述压力控制装置包括与进气管路(100)连通设置的出气管道(125)，所述出气管道(125)上固设有出气单向阀(124)，所述出气单向阀(124)的气流方向设置为从源桶(122)到出气管道(125)，出气管道(125)连接酸气排放处理管道，所述进气管路(100)上设置有压力计(102)，所述出气管道(125)调节所述源桶(122)内的压力，所述压力计(102)对源桶(122)内压力的异常进行报警。

5.根据权利要求1所述的一种集中供源装置，其特征在于：所述源桶(122)上还设置有液位示警机构，所述液位示警机构包括低液位示警点(119)、高液位示警点(120)和备用液位示警点(121)，所述源桶(122)内源液液位低于低液位示警点(119)，所述低液位示警点(119)报警提示补充源液；所述源桶(122)补充源液使液位达到高液位示警点(120)位置，进入待机状态；所述备用液位示警点(121)位于高液位示警点(120)上侧，所述高液位示警点(120)出现问题，补充源液液位达到备用液位示警点(121)，所述备用液位示警点(121)报警。

6.根据权利要求1所述的一种集中供源装置，其特征在于：所述源瓶(126)上固设有进气管(109)，所述进气管(109)延伸至所述源瓶(126)内，所述进气管(109)上端面外接设备上的工艺载气；所述源瓶(126)内设置有热电偶(116)，所述热电偶(116)调节控温腔体(123)的加热功率。