[实用新型]大功率电子与离子的等离子体源

权利要求书

1.大功率电子与离子的等离子体源，其特征在于，包括：空心阴极主体(1)、可拆卸空心阴极部分(3)、可拆卸陶瓷管(4)、阳极(5)、永磁体(6)、发射阴极主体(9)、可拆卸发射阴极部分(10)及加速电极(12)；所述空心阴极主体(1)设有中心孔，其中心孔上段形成进气通道(2)，下段为阶梯孔，所述可拆卸陶瓷管(4)为上端向外翻折的T形管体结构，所述可拆卸空心阴极部分(3)套设于可拆卸陶瓷管(4)外部，所述可拆卸空心阴极部分(3)外表面通过与空心阴极主体(1)阶梯孔螺纹配合将可拆卸陶瓷管(4)压入固定在空心阴极主体(1)阶梯孔中，所述空心阴极主体(1)、可拆卸空心阴极部分(3)及可拆卸陶瓷管(4)共同形成空心阴极；所述阳极(5)位于空心阴极主体(1)下方，所述阳极(5)为中空结构，其中空位置形成等离子体燃烧室(7)，所述可拆卸空心阴极部分(3)与可拆卸陶瓷管(4)下端整体插入到等离子体燃烧室(7)内部，所述永磁体(6)嵌入到阳极(5)下部的环形槽内；所述发射阴极主体(9)位于阳极(5)下方，所述发射阴极主体(9)中心设有阶梯孔，所述可拆卸发射阴极部分(10)为T形结构，其中心设有发射孔(11)，所述可拆卸发射阴极部分(10)设于发射阴极主体(9)的阶梯孔内，所述发射阴极主体(9)与可拆卸发射阴极部分(10)过盈配合共同形成发射阴极；所述加速电极(12)位于发射阴极主体(9)下方，所述加速电极(12)设有中心孔。

2.按照权利要求1所述的大功率电子与离子的等离子体源，其特征在于，所述空心阴极主体(1)、可拆卸空心阴极部分(3)、可拆卸陶瓷管(4)、阳极(5)、永磁体(6)、发射阴极主体(9)、可拆卸发射阴极部分(10)及加速电极(12)为具有同一垂直中心轴的旋转体。

3.按照权利要求1所述的大功率电子与离子的等离子体源，其特征在于，所述永磁体(6)数量为2个，2个永磁体(6)上下排列布置。

4.按照权利要求1所述的大功率电子与离子的等离子体源，其特征在于，所述等离子体燃烧室(7)容积为2cm³。

5.按照权利要求1所述的大功率电子与离子的等离子体源，其特征在于，所述空心阴极主体(1)为磁性钢性材料。

6.按照权利要求1所述的大功率电子与离子的等离子体源，其特征在于，所述可拆卸空心阴极部分(3)为磁性钢性材料。

7.按照权利要求1所述的大功率电子与离子的等离子体源，其特征在于，所述可拆卸陶瓷管(4)为Al₂O₃或ZrO₂或LaB₆。

8.按照权利要求1所述的大功率电子与离子的等离子体源，其特征在于，所述阳极(5)为无氧铜材料。

9.按照权利要求1所述的大功率电子与离子的等离子体源，其特征在于，所述发射阴极主体(9)为磁性钢性材料。

10.按照权利要求1所述的大功率电子与离子的等离子体源，其特征在于，所述可拆卸发射阴极部分(10)为磁性钢性材料。