[实用新型]一种LDI分段式真空吸盘及LDI设备有效
申请号: | 202020832934.2 | 申请日: | 2020-05-18 |
公开(公告)号: | CN212060868U | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
发明(设计)人: | 肖燕青;陶元春 | 申请(专利权)人: | 江苏影速集成电路装备股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人: | 彭素琴 |
地址: | 221000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 ldi 段式 真空 吸盘 设备 | ||
1.一种LDI分段式真空吸盘,包括吸盘主体、真空气孔、电磁阀、真空发生装置和控制装置,其特征在于,所述电磁阀包括横向独立电磁阀和纵向独立电磁阀;所述吸盘主体划分为两段,其中一段吸盘主体划分为M列,每一列连接一个纵向独立电磁阀;另外一段吸盘主体划分成N行,每一行连接一个横向独立电磁阀,真空气孔通过对应的电磁阀与真空发生装置连接。
2.根据权利要求1所述的LDI分段式真空吸盘,其特征在于,每个横向独立电磁阀和每个纵向独立电磁阀分别连接一个继电器,所有继电器均与控制装置连接;所有横向独立电磁阀和所有纵向独立电磁阀均与真空发生装置连接。
3.根据权利要求2所述的LDI分段式真空吸盘,其特征在于,所述吸盘主体的两段在横向上或者纵向上的划分比例范围为2:3~3:2。
4.根据权利要求3所述的LDI分段式真空吸盘,其特征在于,所述吸盘主体上的所有真空气孔等间距排列、横向距离等差排列或纵向距离等差排列。
5.一种LDI设备,其特征在于,所述LDI设备包括权利要求1-4任一所述的LDI分段式真空吸盘。
6.根据权利要求5所述的LDI设备,其特征在于,所述真空气孔成列排列的一段吸盘主体为靠近LDI设备外侧的一部分。
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