[实用新型]一种嵌合式薄膜太阳能电池掩膜板

说明书

本实用新型公开了一种嵌合式薄膜太阳能电池掩膜板，包括外边框骨架、若干内边框骨架及若干电极背板，其中，外边框骨架设置有若干方形内边框骨架嵌合区，其中，一个方形内边框骨架嵌合区对应一个内边框骨架及一个电极背板，内边框骨架内嵌并固定于对应方形内边框骨架嵌合区内，电极背板固定于对应内边框骨架的背面上，该掩膜板能够在一次蒸镀过程中蒸镀不同的电极图案及不同基片大小的薄膜太阳能电池。

技术领域

本实用新型涉及一种掩膜板，具体涉及一种嵌合式薄膜太阳能电池掩膜板。

背景技术

钙钛矿太阳能电池作为一种新型太阳能电池发展非常迅速，目前国内很多高校和研究所都有与之相关的研究课题。钙钛矿太阳能电池自从2009年发现以来其光电转换效率已从3.8％提升到如今的25％以上，其光电转换效率已接近或超过市面上传统晶硅、铜铟镓硒以和碲化镉电池。与传统晶硅电池相比，钙钛矿太阳能电池的优势在于工艺简单，且成本大幅降低。钙钛矿太阳能电池通常由多层不同功能的材料薄膜组成，薄膜的制备可采用旋涂、真空蒸镀、磁控溅射等工艺进行制备。

一般来说，金属电极(例如作为电极的金、银、铝等)通常采用气相沉积法镀膜。气相沉积法使用特定图案的掩膜板来蒸镀所需电极，掩膜板由特定数量的相同方格组成，每个格子容纳并固定基片；格子内的镀膜区域为蒸镀电极的图案。通常情况下一次蒸镀只能选择一种特定图案和特定基片大小的掩膜版，而实验中有时会遇到需要蒸镀不同电极图案，甚至不同基片大小的太阳能电池的情况，如果分多次蒸镀将会浪费时间和浪费电极材料。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术的缺点，提供了一种嵌合式薄膜太阳能电池掩膜板，该掩膜板能够在一次蒸镀过程中蒸镀不同的电极图案及不同基片大小的薄膜太阳能电池。

为达到上述目的，本实用新型所述的嵌合式薄膜太阳能电池掩膜板包括外边框骨架、若干内边框骨架及若干电极背板，其中，外边框骨架设置有若干方形内边框骨架嵌合区，其中，一个方形内边框骨架嵌合区对应一个内边框骨架及一个电极背板，内边框骨架内嵌并固定于对应方形内边框骨架嵌合区内，电极背板固定于对应内边框骨架的背面上。

方形内边框骨架嵌合区上沿周向设置有嵌合槽，内边框骨架的外周面嵌合于所述嵌合槽内。

方形内边框骨架嵌合区的一个角的位置处开设有第一3/4圆柱槽。

内边框骨架分为若干方形镀膜区。

方形镀膜区的一个角处设置有第二3/4圆柱槽。

电极背板上设置有若干电极图案区域，其中一个电极图案区域对应一个方形镀膜区，且各电极图案区域正对对应的方形镀膜区。

电极背板焊接固定于内边框骨架上。

内边框骨架上设置有与对应方形内边框骨架嵌合区上第一3/4圆柱槽相配合的凸起。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型所述的嵌合式薄膜太阳能电池掩膜板在具体操作时，采用模块化设计的思路，内边框骨架内嵌并固定于对应方形内边框骨架嵌合区内，电极背板固定于对应内边框的背面上，通过拼装组合的方式形成掩膜板，同时，各电极背板及内边框骨架可以单独设计及安装，各电极背板上的电极图案可以根据需要自行设计，以组合出不同的掩膜板，从而适应不同基片大小的薄膜太阳能电池，减少蒸镀次数和蒸镀损耗，以节省时间和成本。

附图说明

图1为本实用新型中外边框骨架11的结构示意图；

图2为本实用新型中内边框骨架22的结构示意图；

图3为本实用新型中电极背板32的结构示意图；

图4为本实用新型的结构示意图。