[实用新型]一种自动检测单晶硅棒晶向的机构有效
申请号: | 202020837299.7 | 申请日: | 2020-05-19 |
公开(公告)号: | CN212364177U | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 朱亮;卢嘉彬;周锋;吴兵兵;高红刚;罗叶枫;严浩;曹建伟;傅林坚 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | G01N27/72 | 分类号: | G01N27/72;G01B7/00 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动检测 单晶硅 机构 | ||
本实用新型涉及单晶硅加工技术领域,尤其涉及一种自动检测单晶硅棒晶向的机构。包括底座,滑台气缸,测量臂、磁性传感器和磁条。底座上设有滑台气缸,连接座设于滑台气缸上。连接座上端面设有导轨,连接座上端面后端设有挡板。导轨上通过滑块设有测量臂,测量臂前端设有滚动体;磁性传感器通过传感器连接板安装在测量臂侧部,连接座上端面开有槽口,槽口方向与测量臂运动方向一致,磁条设于槽口内,并位于磁性传感器下方;导向杆前端插在测量臂里,导向杆后端固设于挡板上。本实用新型实现了自动检测晶棒晶向,取代人工操作,节约时间和成本。
技术领域
本实用新型涉及单晶硅加工技术领域,尤其涉及一种用于硅棒切割设备的自动检测单晶硅棒晶向的机构。
背景技术
在国家大力支持下,我国光伏产业近几年持续快速发展,对原材料硅的需求量越来越大,各种光伏原材料硅的加工设备也持续换代更新。在现有设备中,单晶硅棒开方切割设备迅速发展。在现有的单晶硅棒开方切割设备中,大部分采用人工确认晶向,靠人工划线和摆正位置,然后再沿着晶向开方。这种人工确认的方式有很大的不确定性和误差,经常会出现晶线被切到的情况,导致整颗晶棒报废。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是,克服现有技术中的不足,提供一种自动检测单晶硅棒晶向的机构。
为解决上述技术问题,本实用新型的解决方案是:
提供一种自动检测单晶硅棒晶向的机构,包括底座,滑台气缸,测量臂、磁性传感器和磁条。
底座上设有滑台气缸,连接座设于滑台气缸上。连接座上端面设有导轨,连接座上端面后端设有挡板。导轨上通过滑块设有测量臂,测量臂前端设有滚动体;磁性传感器通过传感器连接板安装在测量臂侧部,连接座上端面开有槽口,槽口方向与测量臂运动方向一致,磁条设于槽口内,并位于磁性传感器下方;导向杆前端插在测量臂里,导向杆后端固设于挡板上。
作为一种改进,滚动体为轴承,测量臂前端开槽,轴承内置,通过销轴与测量臂连接。
作为一种改进,导向杆外套设有弹簧。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
本实用新型实现了自动检测晶棒晶向,取代人工操作,节约时间和成本。
附图说明
图1为本实用新型正视图;
图2为本实用新型侧视图。
附图中的标记为:1-轴承,2-销轴,3-测量臂,4-传感器连接板,5-弹簧,6-导向杆,7-挡板,8-连接座,9-滑台气缸,10-底座;11-导轨,12-滑块,13-磁性传感器,14-磁条。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式,进一步阐明本实用新型。在阅读了本实用新型之后,其他技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均属于本申请所附权利要求所限定的范围。
如图1所示,一种自动检测单晶硅棒晶向的机构,包括底座10,滑台气缸9,测量臂3、磁性传感器和磁条。
底座10上设有滑台气缸9,连接座8设于滑台气缸9上。连接座8上端面设有导轨11,连接座8上端面后端设有挡板7。导轨上通过滑块12设有测量臂3,测量臂3前端设有滚动体。磁性传感器13通过传感器连接板4安装在测量臂3侧部,连接座8上端面沿测量臂3运动方向开有槽口,磁条14设于槽口内,并位于磁性传感器13下方。导向杆6前端插在测量臂3里,导向杆6后端固设于挡板7上。导向杆6外套设有弹簧5。滚动体为轴承1,测量臂3前端开槽,轴承1内置,通过销轴2与测量臂3连接。
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