[实用新型]一种自动晶片粘接机构有效

专利信息
申请号: 202020837870.5 申请日: 2020-05-19
公开(公告)号: CN211929447U 公开(公告)日: 2020-11-13
发明(设计)人: 洪吉武 申请(专利权)人: 惠州市玛尼微电子科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙) 44349 代理人: 陈文福
地址: 516000 广东省惠州市博*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动 晶片 接机
【说明书】:

实用新型公开了一种自动晶片粘接机构,涉及半导体加工领域,顶板通过立柱架设于底板上方,顶板设有第一固定架、第二固定架和安装支架,安装支架设有摆臂装置,摆臂装置设有第一固晶摆臂和第二固晶摆臂,第一固定架上设有第一视觉装置,第二固定架上设有第二视觉装置,底板边缘位置嵌设有光栅接收器,顶板设有光栅发射器,底板上通过第一Y轴运动机构和第一X轴运动机构安装支撑座,支撑座上冰雷紧靠设有两个载晶网台,底板上通过第二Y轴运动机构和第二X轴运动机构支撑载物台,载物台并列紧靠设有两个工件治具。通过光栅发射器、光栅接收器形成安全光幕,通过安全光幕将粘接设备包围在内,避免工作人员意外碰撞设备,提升安全性。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工领域,特别是涉及一种自动晶片粘接机构。

背景技术

二极管的封装包括锡膏印刷、固晶、合膜、烧结、清洗、注塑、固化、成型等工序,其中锡膏印刷、固晶是二极管封装的关键工序,现有的二极管封装一般先采用网印方式将锡膏印刷到框架上,然后送入下一道固晶工序。人员人工操作固晶作业精度低,效率不高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种自动晶片粘接机构,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:一种自动晶片粘接机构,包括底板和顶板,所述顶板通过立柱架设于底板上方,所述顶板对称设有第一固定架和第二固定架,所述第一固定架和第二固定架之间设有安装支架,所述安装支架设有摆臂装置,所述摆臂装置的活动端设有第一固晶摆臂和第二固晶摆臂,所述第一固定架上设有第一视觉装置,所述第二固定架上设有第二视觉装置,所述底板边缘位置设有容置槽,所述容置槽上盖设有透明板,所述容置槽内设有光栅接收器,所述顶板边缘部位设有光栅发射器,所述光栅接收器和光栅发射器一一对应,所述底板上于第一视觉装置正下方设有第一Y轴运动机构,所述第一Y轴运动机构上设有第一X轴运动机构,所述第一X轴运动机构上设有支撑座,所述支撑座上并列紧靠设有两个载晶网台,所述底板上于第二视觉装置正下方设有第二Y轴运动机构,所述第二Y轴运动机构上设有第二X轴运动机构,所述第二X轴运动机构上设有载物台,所述载物台上并列紧靠设有两个工件治具。将光栅接收器安装在容置槽和透明板构成的腔体内,避免光栅接收器受外界影响无法工作,通过光栅发射器、光栅接收器形成安全光幕,通过安全光幕将粘接设备包围在内,避免工作人员意外碰撞设备,提升安全性。

进一步地,所述顶板于第二Y轴运动机构一端正上方设有移料区,所述移料区分别设有第一视觉摄像头和第二视觉摄像头。通过第一视觉摄像头和第二视觉摄像头检测工件上的晶片粘接情况。

进一步地,所述底板上对应移料区设有机械手,所述底板下方设有出料滑道,所述底板于机械手一侧开设有供出料滑道一端贯穿的通口。通过机械手抓取粘接晶片后的工件,并将工件通过出料滑道送出。

进一步地,所述底板上于移料区正下方设有用于顶紧第二X轴运动机构的限位钢板。通过限位钢板限制第二X轴运动机构的运动轨迹。

进一步地,所述底板下表面设有升降气缸,所述升降气缸的活塞杆与限位钢板固定连接,所述底板上开设有供限位钢板贯穿的贯穿槽。升降气缸驱动限位钢板上升,截停第二X轴运动机构,便于下料。

进一步地,所述第一X轴运动机构和第二X轴运动机构均为电动直线模组,所述支撑座底面中部与第一X轴运动机构固定连接,所述载物台底面中部与第二X轴运动机构的滑台固定连接。通过电动直线模组作为动力源驱动支撑座和载物台,使支撑座和载物台座直线运动。

进一步地,所述支撑座上设有第一晶片区和第二晶片区,所述支撑座上于第一晶片区中部开设有第一开口,所述支撑座上于第二晶片区中部开设有第二开口,所述第一开口和第二开口设有深色衬板。深色衬板和载晶网台上的晶片对比,使晶片凸显。

进一步地,所述第一晶片区和第二晶片区上螺纹连接有定位柱,所述载晶网台上开设有与定位柱相对应定位孔。通过定位柱定位载晶网台。

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