[实用新型]用于电子束引出窗的支撑格栅结构

说明书

本实用新型公开了一种用于电子束引出窗的支撑格栅结构，包括：支撑铜板，其上设置有至少一组支撑格栅，且各组支撑格栅在空间上分别构成电子束的引出窗口；其中，各引出窗口上的支撑格栅在空间上呈弯曲状。本实用新型提供一种用于电子束引出窗的支撑格栅结构，其能够通过采用弯曲格栅结构，在不减少占空比的前提下，解决了支撑格栅随机形变产生的隐患，同时增强了格栅的抗压性能，延长了窗膜和格栅的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及电子加速器领域。更具体地说，本实用新型涉及一种用在电子加速器中电子束引出窗的支撑格栅情况下支撑格栅结构。

背景技术

电子加速器引出窗采用薄窗膜时，会采用格栅结构支撑窗膜，格栅承受窗膜传递过来的大气压力，因此，格栅的抗压性能至关重要。同时，格栅的存在会遮挡部分电子束的引出，又需要格栅尽可能窄，格栅间距尽可能大，占空比尽可能高，电子束利用率才能高。但是，格栅越窄，格栅间距越大，抗压性能越差。因此需要在抗压性能和引出效率之间仔细权衡。目前的格栅结构都是采用直线型结构，在承受压力的时候，形变方向是随机的，各个格栅变形方向不一致，可能造成某些局部的格栅间距过大的现象，此处的窗膜温升过高，应力过大，很容易损坏。

目前常用的方法是格栅中间加筋连接，见专利CN 207589258 U《一种电子加速器水冷格栅结构》，CN 208063543 U《电子加速器钛箔支撑法兰结构》，CN 206948700 U《低能电子加速器用束流引出窗》，有效增加了格栅的抗压性能，减少格栅的形变量，随机形变产生的问题依然无法避免，同时，还减少了格栅的占空比，引出效率略有降低，窗膜的温升也略有增加。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。

本实用新型还有一个目的是提供一种用于电子束引出窗的支撑格栅结构，其能够通过采用弯曲格栅结构，在不减少占空比的前提下，解决了支撑格栅随机形变产生的隐患，同时增强了格栅的抗压性能，延长了窗膜和格栅的使用寿命。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了一种用于电子束引出窗的支撑格栅结构，包括：

支撑铜板，其上设置有至少一组支撑格栅，且各组支撑格栅在空间上分别构成电子束的引出窗口；

其中，各引出窗口上的支撑格栅在空间上呈弯曲状。

优选的是，各引出窗口上的支撑格栅被配置为呈S型或弧形结构。

优选的是，支撑格栅的弧形顶点到支撑格栅端部两点连线之间的距离被配置为1mm～5mm。

优选的是，所述支撑铜板内部设置有对支撑铜板、各组支撑格栅、窗膜进行冷却的冷却水通道。

优选的是，所述支撑格栅的厚度被配置为0.3mm～3mm，长度被配置为30～100mm，高度被配置为2～30mm。

优选的是，所述支撑格栅中部设置有加强筋。

优选的是，在支撑铜板上的引出窗口大于两个时，所述冷却水通道在各引出窗口的两侧都设置有供冷却水流通的通路。

本实用新型至少包括以下有益效果：其一，本实用新型能够通过采用弯曲格栅结构，将支撑格栅加工成弧形或者S型，在不减少占空比的前提下，解决了支撑格栅随机形变产生的隐患，同时增强了格栅的抗压性能，延长了窗膜和格栅的使用寿命。

其二，本实用新型通过在弯曲格栅的中间设置加强筋，进一步增加弯曲格栅的抗压性能，进而使得弯曲格栅可以相对于现有的直线形格栅来说，其可以进一步减薄，提高占空比，提高电子束的引出效率。

本实用新型的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本实用新型的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。

附图说明