[实用新型]一种镀膜腔室中真空规的防护结构

权利要求书

1.一种镀膜腔室中真空规的防护结构，其特征在于包括：

腔室盖板(1)、遮挡罩(2)、连接件、卡箍(5)、真空规(6)，所述腔室盖板(1)朝真空室一侧开有刀口法兰接口，朝大气一侧焊接设置KF接头，所述真空规(6)通过卡箍和KF接头与所述腔室盖板(1)连接，所述遮挡罩(2)与所述连接件焊接连接，通过所述连接件与腔室盖板(1)连接，所述遮挡罩(2)的侧面上开设有通孔，由此使得真空室与真空规连通。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜腔室中真空规的防护结构，其特征在于：所述遮挡罩(2)为球型，球型遮挡罩形成球型腔室。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜腔室中真空规的防护结构，其特征在于：所述遮挡罩(2)为立方体形式。

4.根据权利要求1所述的一种镀膜腔室中真空规的防护结构，其特征在于：还包括开孔螺栓(4)，所述开孔螺栓锁紧所述连接件与腔室盖板(1)。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜腔室中真空规的防护结构，其特征在于：所述连接件为CF法兰(3)。

6.根据权利要求1所述的一种镀膜腔室中真空规的防护结构，其特征在于：还包括垫圈(7)，所述垫圈(7)设置在连接件上。

7.根据权利要求6所述的一种镀膜腔室中真空规的防护结构，其特征在于：所述垫圈(7)为铜垫圈。