[实用新型]一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置

说明书

本实用新型公开了一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置，包括底板，底板顶部靠近左侧处安装有两组第一竖板，且每组第一竖板的数量为两个设置，位于同一组的两个第一竖板相靠近的一侧靠近顶部处分别安装有第一轴承，且每组内的两个第一轴承内圈均固定连接有转轴，位于同一组的两个第一竖板之间均设有第一转动辊，且两个第一转动辊的前后两端分别与每组内的两个转轴相靠近的一端固定连接，通过第一驱动电机、第一转动辊和第一传送带的相互配合，可以实现陶瓷靶材的输送，而圆盘、缓料杆和滚筒的设置，可以保证陶瓷靶材进行有序的间距输送，便于后续的除杂，从而可以达到除杂效率高和使用效果佳的特点。

技术领域

本实用新型涉及靶材生产技术领域，具体为一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。根据材质的不同，靶材可分为金属靶材和陶瓷靶材等，在陶瓷靶材生产过程中，其表面产生杂质和灰尘，为了保证靶材品质，需要进行除杂，但是现有技术的除杂装置除杂不彻底，容易发生残留，大大降低了除杂效率，使用效果差，为此，我们提出一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题在于克服现有技术的除杂效率低和使用效果差等缺陷，提供一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置。所述一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置具有除杂效率高和使用效果佳等特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置，包括底板，所述底板顶部靠近左侧处安装有两组第一竖板，且每组第一竖板的数量为两个设置，位于同一组的两个所述第一竖板相靠近的一侧靠近顶部处分别安装有第一轴承，且每组内的两个第一轴承内圈均固定连接有转轴，位于同一组的两个所述第一竖板之间均设有第一转动辊，且两个第一转动辊的前后两端分别与每组内的两个转轴相靠近的一端固定连接，位于右侧的所述第一转动辊后侧的第一竖板的后壁通过两个细杆固定连接有第一驱动电机，且第一驱动电机的输出轴与后侧的转轴后端固定连接，两个所述第一转动辊的外壁活动连接有第一传送带，所述底板顶部靠近中间处安装有两个侧板，且两个侧板为前后设置，所述第一传送带右侧设有导料轨，且导料轨的前壁和后壁靠近右侧处与两个侧板相靠近的一侧靠近左侧处固定连接，两个所述侧板之间固定连接有清洗轨，且清洗轨左侧与导料轨的右侧固定连接，所述清洗轨右侧固定连接有出料轨，且出料轨的前壁和后壁靠近左侧处与两个侧板相靠近的一侧靠近右侧处固定连接，所述出料轨底部靠近右侧处设有第二传送带，两个所述侧板之间设有转动杆，两个所述侧板相靠近的一侧分别安装有第六轴承，且转动杆的前后两端分别与两个第六轴承内圈固定连接，所述底板顶部安装有第二驱动电机，且第二驱动电机与转动杆之间传动连接有皮带，所述转动杆外壁上固定连接有若干个均匀分布的螺旋叶片，两个所述侧板之间固定连接有两个横板，且两个横板为上下设置，两个所述横板相靠近一侧靠近左侧处分别固定连接有刮板，且两个横板相靠近一侧靠近右侧处分别固定连接有两个安装板，两个所述安装板相靠近的一侧分别设有毛刷。

优选的，所述底板顶部靠近右侧处安装有两组第二竖板，且每组第二竖板的数量为两个设置，位于同一组的两个所述第二竖板相靠近的一侧靠近顶部处分别安装有第二轴承，且每组内的两个第二轴承内圈均固定连接有转轴，位于同一组的两个所述第二竖板之间均设有第二转动辊，且两个第二转动辊的前后两端分别与每组内的两个转轴相靠近的一端固定连接，两个所述第二转动辊的外壁与第二传送带活动连接，位于左侧的所述第二转动辊后侧的第二轴承上的转轴与位于右侧的第一转动辊后侧的第一轴承上的转轴之间传动连接有皮带。

优选的，所述第一传送带的后侧设有U形板，且U形板底部与底板顶部之间固定连接有两个直杆，所述U形板内腔顶部和内腔底部均安装有若干个均匀分布的第三轴承，且若干个第三轴承内圈均固定连接有转轴，所述U形板内设有若干个均匀分布的滚筒，且若干个滚筒的顶端和底端分别与位于上方和下方的若干个转轴相靠近的一端固定连接。