[实用新型]一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具有效
| 申请号： | 202020850035.5 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN212420958U | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 后健华;张正伟 | 申请（专利权）人： | 安徽富乐德科技发展股份有限公司 |
| 主分类号： | B24C9/00 | 分类号： | B24C9/00 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 hotmo coldmo 装置 anoded304 部件 喷砂 范围 保护 | ||
1.一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具，包括防护治具（1）、预留槽（2）和一号固定套（3），其特征在于：所述防护治具（1）内部两端开设有预留槽（2），所述预留槽（2）内部设置有小型弹簧（8）且预留槽（2）一端套设有推杆（9），所述防护治具（1）顶部一端焊接有一号固定套（3），所述一号固定套（3）顶部设置有一号提拉杆（4）且一号提拉杆（4）底部焊接有清杂锥（10），所述防护治具（1）顶部另一端焊接有二号固定套（5），所述二号固定套（5）顶部设置有二号提拉杆（6）且二号提拉杆（6）底部焊接有清杂勺（11）。
2.根据权利要求1所述的一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具，其特征在于：所述预留槽（2）的数量为多个。
3.根据权利要求1所述的一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具，其特征在于：所述一号固定套（3）和二号固定套（5）内侧顶部均开设有螺纹槽（12）。
4.根据权利要求1所述的一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具，其特征在于：所述一号提拉杆（4）和二号提拉杆（6）外侧底端均开设有与螺纹槽（12）对应的螺纹齿（13）。
5.根据权利要求1所述的一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具，其特征在于：所述防护治具（1）、一号提拉杆（4）和二号提拉杆（6）均为不锈钢材料制成。
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