[实用新型]通讯直连装置、通信系统以及半导体自动化生产系统有效

专利信息
申请号: 202020856665.3 申请日: 2020-05-20
公开(公告)号: CN211791553U 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 徐鹏飞;李青桦;陈志刚;王艳兵 申请(专利权)人: 中芯集成电路制造(绍兴)有限公司
主分类号: H04L12/24 分类号: H04L12/24;H04Q1/02;H04W4/80;H04W76/14;G06K17/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 曹廷廷
地址: 312000 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 通讯 装置 通信 系统 以及 半导体 自动化 生产
【权利要求书】:

1.一种通讯直连装置,其特征在于,包括:第一接口、至少一个第二接口和至少一个第三接口,所述第一接口的头端直接连接外部电源,尾端通过相应的信号线缆连接所述第二接口的尾端和所述第三接口的尾端,所述第二接口的尾端和第三接口的尾端还通过相应的信号线缆相互连接,所述第二接口的头端通过相应的信号线缆直接连接相应的半导体加工设备的标准载货口处的智能读写器的通讯接口,所述第三接口的头端通过相应的信号线缆直接连接工业交换机的相应的通讯接口。

2.如权利要求1所述的通讯直连装置,其特征在于,所述第一接口为与所述外部电源相适配的通用连接接口,所述第二接口为与所述智能读写器相适配的通用连接接口,所述第三接口为与所述工业交换机相适配的通用连接接口。

3.如权利要求2所述的通讯直连装置,其特征在于,所述第一接口的尾端的电源引脚通过相应的信号线缆连接所述第二接口的尾端的电源引脚,以形成传输所述外部电源的电压的路径;所述第一接口的尾端的接地引脚通过相应的信号线缆分别连接所述第二接口的尾端的接地引脚和所述第三接口的尾端的接地引脚,以形成接地的路径;所述第二接口的尾端的一数据信号引脚通过相应的信号线缆连接所述第三接口的尾端的一数据信号引脚,以形成一条数据信号传输路径,所述第二接口的尾端的另一数据信号引脚通过相应的信号线缆连接所述第三接口的尾端的另一信号引脚,以形成另一条数据信号传输路径。

4.如权利要求1所述的通讯直连装置,其特征在于,所述第一接口的头端为插头型连接器,能直接插接到相应的外部电源插座上。

5.如权利要求1所述的通讯直连装置,其特征在于,所述第二接口的头端为插座型连接器;和/或,所述第三接口的头端为插座型连接器。

6.如权利要求1~5中任一项所述的通讯直连装置,其特征在于,所述第二接口和所述第三接口成对设置。

7.一种通信系统,其特征在于,包括:

至少一个智能标签,所述智能标签一一对应地设置在相应的晶圆盒上;

至少一个智能读写器,所述智能读写器设置在相应的半导体加工设备的标准载货口上,所述智能读写器与所述智能标签无线连接;

至少一个如权利要求1~6中任一项所述的通讯直连装置,所述通讯直连装置的第一接口连接外部电源,所述通讯直连装置的第二接口通过相应的信号线缆连接相应的所述智能读写器;

至少一个工业交换机,通过相应的信号线缆连接至少一个所述通讯直连装置的第三接口;

设备自动化程序系统,通过相应的信号线缆连接所述工业交换机。

8.如权利要求7所述的通信系统,其特征在于,所述智能标签和所述智能读写器一一对应地无线连接,所述智能读写器和所述通讯直连装置一一对应地通过相应的信号线缆连接。

9.如权利要求7所述的通信系统,其特征在于,至少一个所述通讯直连装置具有至少两个第二接口和至少两个第三接口,且所述第二接口和所述第三接口成对设置;至少两个所述智能读写器与同一个所述通讯直连装置同时连接。

10.一种半导体自动化生产系统,其特征在于,包括:

权利要求7~9中任一项所述的通信系统;

至少一个晶圆盒,所述通信系统中的智能标签设置在相应的晶圆盒上;以及,

至少一个半导体加工设备,所述半导体加工设备具有标准载货口,所述通信系统中的智能读写器设置在相应的标准载货口上。

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