[实用新型]4吋规格notch基片的寻边装置和光刻系统

说明书

本实用新型实施例公开了一种4吋规格notch基片的寻边装置和光刻系统，该4吋规格notch基片的寻边装置包括：载片台，用于承载基片；驱动组件，用于驱动载片台上的基片绕其中心旋转；发射光纤传感器，固定于载片台的底部，用于发射第一光信号，第一光信号照射至基片上；接收光纤传感器，固定于载片台的一侧，用于接收第一光信号经过基片后形成的第二光信号；处理器，与发射光纤传感器和接收光纤传感器通信连接，并根据第一光信号对应的电信号和第二光信号对应的电信号，确定基片的notch位置。本实用新型实施例提供的寻边装置，对原有寻flat信号的改造，使之具有寻notch功能，即可使Nikon G6光刻机能够实现4吋规格notch基片基于notch口的寻边，满足技术需求。

技术领域

本实用新型实施例涉及生产制造和光刻设备技术领域，尤其涉及一种4吋规格notch基片的寻边装置和光刻系统。

背景技术

寻边装置是一种对基片的边缘轮廓进行定位的装置，以实现对边。

目前，Nikon G6现有寻边装置(或称“寻边单元”)可实现4吋平边(flat) 蓝宝石片寻边。但是，该寻边装置并不能满足对4吋notch蓝宝石片的寻边需求，需要改造4吋flat寻边装置。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供一种4吋规格notch基片的寻边装置和光刻系统，对原有寻flat信号的改造，使之具有寻notch功能，即满足4吋规格 notch基片基于notch口的寻边需求。

为了达到此目的，本实用新型实施例提供了以下技术方案：

第一方面，本实用新型实施例提供了一种4吋规格notch基片的寻边装置，该4吋规格notch基片的寻边装置包括：

载片台，用于承载基片；

驱动组件，用于驱动所述载片台上的所述基片绕其中心旋转；

发射光纤传感器，固定于所述载片台的底部，用于发射第一光信号，所述第一光信号照射至所述基片上；

接收光纤传感器，固定于所述载片台的一侧，用于接收所述第一光信号经过所述基片后形成的第二光信号；

处理器，与所述发射光纤传感器和所述接收光纤传感器通信连接，并根据所述第一光信号对应的电信号和所述第二光信号对应的电信号，确定所述基片的notch位置。

在一实施例中，所述处理器还与所述驱动组件通信连接，所述驱动组件用于在所述处理器的控制下驱动所述基片旋转。

在一实施例中，所述处理器包括工控板以及焊接在所述工控板上的单片机。

在一实施例中，所述单片机包括OF信号板U36；

所述发射光纤传感器电连接至所述OF信号板U36的8脚；

所述接收光纤传感器电连接至所述OF信号板U36的6脚；

所述驱动组件电连接至所述OF信号板U36的5脚。

在一实施例中，所述驱动组件包括电机；

所述电机的转轴头部由绝缘保护套包裹。

在一实施例中，所述绝缘保护套包括橡皮套。

在一实施例中，该4吋规格notch基片的寻边装置还包括单片滚轴；

所述单片滚轴安装于所述载片台的一侧，用于定位所述基片的notch口。

第二方面，本实用新型实施例还提供了一种光刻系统，该光刻系统包括第一方面提供的任一种4吋规格notch基片的寻边装置。