[实用新型]基片寻边装置和光刻系统

权利要求书

1.一种基片寻边装置，其特征在于，基于NIKON I8光刻机进行改进，所述基片寻边装置包括：

载片台，用于承载基片；

反射式传感器，固定于所述载片台的承载面侧；所述反射式传感器用于探测所述载片台上是否存在基片。

2.根据权利要求1所述的基片寻边装置，其特征在于，还包括上板和对边传感器；

所述上板悬置于所述载片台的上方，所述对边传感器固定于所述上板朝向所述载片台的一侧；

所述对边传感器至少包括沿同一条直线排列的第一传感器、第二传感器和第三传感器；所述对边传感器用于确定所述基片的平边的位置。

3.根据权利要求2所述的基片寻边装置，其特征在于，所述反射式传感器和所述对边传感器均为光纤传感器。

4.根据权利要求3所述的基片寻边装置，其特征在于，还包括信号处理电路板，所述光纤传感器与所述信号处理电路板插接电连接。

5.根据权利要求4所述的基片寻边装置，其特征在于，还包括第一TL074芯片、第二TL074芯片、第三TL074芯片、第四TL074芯片、一HI509芯片以及第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、第五电阻、第六电阻、第七电阻和第八电阻；信号处理电路板包括第一电源接口、第二电源接口、寻边信号接口、第一平边检查接口、第二平边检查接口以及第三平边检查接口；

所述第一电源接口电连接至所述第一TL074芯片的4脚，所述第二电源接口接地，以形成供电回路；

所述寻边信号接口电连接至所述第一TL074芯片的9脚，所述第一TL074芯片的8脚电连接至所述HI509芯片的12脚；

所述第一电阻的第一端、所述第三电阻的第一端均与所述第一平边检查接口电连接，所述第二电阻的第一端和所述第四电阻的第一端均与所述第二平边检查接口电连接，所述第五电阻的第一端与所述第三平边检查接口电连接，所述第六电阻的第一端与所述第四TL074芯片的13脚电连接；所述第一电阻的第二端、所述第二电阻的第二端、所述第三电阻的第二端、所述第四电阻的第二端以及所述第五电阻的第二端均电连接至所述第二TL074芯片的9脚，所述第六电阻的第二端和所述第二TL074芯片的8脚均电连接至所述HI509芯片的4脚；所述HI509芯片的9脚电连接至所述第三TL074芯片的5脚，所述第三TL074芯片的6脚与其7脚短接，并通过所述第七电阻连接至寻边结果提示端；所述HI509芯片的8脚电连接至所述第三TL074芯片的3脚，所述第三TL074芯片的2脚与其1脚短接，并通过所述第八电阻电连接至平边检查结果端。

6.根据权利要求5所述的基片寻边装置，其特征在于，所述第一电阻和所述第二电阻均为阻值为4.6kΩ的电阻，所述第三电阻、所述第四电阻以及所述第五电阻均为阻值为82kΩ的电阻，所述第六电阻为阻值为17kΩ的电阻，所述第七电阻和所述第八电阻均为阻值为220Ω的电阻。

7.根据权利要求4所述的基片寻边装置，其特征在于，还包括信号提示模块，所述信号提示模块与所述光纤传感器电连接，或所述信号提示模块与所述信号处理电路板电连接；所述信号提示模块用于提示所述光纤传感器是否探测到所述基片。

8.根据权利要求7所述的基片寻边装置，其特征在于，所述信号提示模块包括信号提示灯。

9.一种光刻系统，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的基片寻边装置。